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第5055号 真空での漏れ検査の方法 その二

ヘリウムリークディテクターを使用した漏れの検査方法は
・真空吹付法
・真空容器法
・スニッファー法
以上三つの手法があります。

本日ご紹介するのは「真空容器法」です。

漏れ検査をしたい試験体の中にヘリウムガスもしくはN2+Heの混合ガスを
封入し、更にそれを覆う真空容器の中に入れます。

漏れがあれば・・・

試験体のなかからヘリウムガスが真空容器のなかに微量でも漏れ出せば、
真空排気系で待ち受けているヘリウムリークディテクターが検知し漏れ量
を正確に捕捉します。漏れ箇所の正確な部位こそ特定できませんが、試験
体の複数か所の漏れがあったとしても漏れの総量を算出することが可能で
す。混合ガスを使用する場合には100%ヘリウムを使用する際よりも感度が
悪くなります。

例えば、N2(50%)+He(50%)の場合には、感度が半分となり、実際の漏れ量
は計測値の2倍になる計算になります。

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*Twitter世界トレンドより
1位:1. アイルランド、2位:#NZLvIRE
3位:オールブラックス、4位:#かぐや様2期、5位:##日本シリーズ

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