第4913号 Magnetron Sputtering Equipment マグネトロンスパッタ源
スパッタリングとは？
真空中で主にアルゴンガスなどの不活性ガスを製膜材料となる
ターゲットにマイナスの電圧を印加してロー放電を発生させて
不活性ガス原子をイオン化した上で、ターゲットの表面にガス
イオンを激しく衝突させてターゲットを構成する成膜材料の原
子・分子を弾き出して基材・基板の表面に付着堆積させ薄膜を
をつくるものです。
マグネトロンスパッタソース
高真空中で電圧を印加しグロー放電が発生する真空域 10-e1Pa
程度まで不活性ガスを導入します。不活性ガスはプラズマ化し
イオン原子がマイナス電位のターゲットへ加速して、高運動エ
ネルギー状態でターゲットの表面に衝突し表面を叩き続けるこ
とでターゲット材料の原子・分子が勢い良く飛び出して、成膜
材料の組成を変えないままに強い成膜が形成されます。
スパッタリングに必要な不活性ガスのほか酸素や窒素などを導
入することで、酸化物や窒化物の成膜ができ反応性スパッタリ
ングも可能です。
Cr,Cu,Ti,Ag,Pt,Au,Ni-Cr，SUS，Cu-Zn，etc.
ITO,SiO2,TiO2,Nb2O5,ZnO など
高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
皇紀２６７９年（西暦２０１９年）
5月30日 木曜日 有明月
二十四節季 八節気 小満(しょうまん) 七十二候 二十三候 紅花栄(べにばなさかう)
※職場のパワーハラスメントの防止を企業に義務づける改正労働施策総合推進法が29日、参院本会議で可決、成立した。初めてパワハラを定義し、上下関係を背景としたパワハラは許されないと明記する一方、罰則規定は見送られた。具体的にどのような行為がパワハラに当たるかについて、厚生労働省が来年4月の施行までに指針を策定する。
天気 晴れ
ボンベ庫の温度 朝２１℃ 昼２８℃ 夜２７℃
弊社 太陽光発電総発電量 ６１．０kW
本日のPM2.5 7.94μg/m 環境省そらまめ君より（さいたま市城南）
本日の電力最大消費率は？
（エレクトリカル・ジャパンElectrical Japan１（PM0:00)より）
北海道電70%、東北電75%、東電76%、中部電82%、北陸電84%
関西電85%、中国電85%、四国電78%、九州電74%、沖縄電力67%
利根川上流域の関東８ダム貯水率は？
5/30 12:00 113,608千m3 98.4% 25.56m3/sec
（利根川ダム管理管理事務所河川情報より）
（藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・下久保・草木および渡良瀬貯%水池）
＊Twitter世界トレンドより
１位：液体のり 、２位：#あなたの心の闇レベルを計測、
３位：ギョンス、４位：#大倶利伽羅が稀に慣れ合ってくれるボタン、５位：白血病治療の救世主
ミゾイキクコ
@kikutomatu
1934年生まれ 84歳。
趣味・茶道、園芸、料理、写真、 お茶大理学部卒業。
ツイッター開始2010年1月28日。
著書:何がいいかなんて終わってみないとわかりません。
キクコさんのつぶやき（83歳の私がツイッターで伝えたいこと）。
月刊「3分クッキング」連載中。
「戦争って莫大な経費がかかるのです。
ですから一部の人はお金儲けできます。
ごく一部の人が。
庶民は家を焼かれたり命を落としてもなんの補償もないのです。
なので先の戦争ではこれなら戦死の方が
よかったというぼやきが聞かれました。」
西野亮廣氏ブログbyAmeba
「子供の未来を願うなら「知らないことを受け入れない大人」になるな」
klchem blogs by との