川口液化ケミカル株式会社へのお問い合わせはこちらまで。9:00〜17:00(土日祝日を除く)

WEBでお問い合わせ 048-282-3665

ホーム  /  ブログ  /  真空の知恵  /  第4904号 電離真空計の数値のゆらぎの要因は?

第4904号 電離真空計の数値のゆらぎの要因は?

電離真空計を使っていて、指示値が揺らぐ原因とはなんでしょう?

まず考えられるのが、機械的な振動、電気的なノイズが疑われます。
信号ケーブルを振動やノイズ源から離してみることと、遮蔽したり
低ノイズケーブルに変更するなどの対応を検討します。

それでも指示値の揺らぎが改善しなかったり、まだまだブレが大き
い場合には、測定子の汚染が考えられます。測定子を点検して、グ
リッド、イオンコレクタが汚れていないか? 確認をしましょう!
グリッド、イオンコレクタが黒色になっている場合はタングステン
フィラメントが、高い圧力で加熱された場合は、黄白色の酸化タン
グステンがグリッドに汚れが付着している可能性があり、また、真
空系内に可動部がある場合には、周期的な圧力上昇が起きる場合も
あります。

また、一日の間で、ゆっくりと圧力指示値が変化する場合には、
室温の変動に伴う圧力変動が考えられ、真空計のトラブルではない
こともあります。

更には、電離真空計は、10 e-6A 以下といった超微小電流を測定
しているため、ケーブルやコネクタ部に人間の油や汗などで汚れる
と、電流が漏洩し、外部からの微小電流流入などでノイズの元とな
ります。ケーブル、コネクタは常にきれいな状 態に保ちたいもの
です。

エクストラクタゲージのような極高真空計の場合、非常に微小な
電流 10 e-15A を測定する場合しますので、測定系内の抵抗とな
る絶縁物、ケーブル、増幅抵抗などによる揺らぎが要因が圧力指
示値の描らぎの原因であることが多く、極高真空領域の圧力測定
を行っている場合は、100 e-11 台の圧力指示値の描らぎがある
傾向があります。コネクタ、ケーブルが汚染されている場合には
極端に大きくなるのでコネクタ、ケーブルの取り扱いには十分な
注意が必要です。

10 e-15A 台を測定する微小電流増幅器は温度に非常に敵感なの
で、およそ 10 e-15A/°C のオフセット変動がみられます。極高
真空領域の圧力測定を行う場合には、測定系のオフセットを確実
に計測または、調整する必要もあります。

高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
E-mail : info★klchem.co.jp
※★を@に代えてお知らせください

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 皇紀2679年(西暦2019年)
 5月21日 火曜日 立待月

二十四節季 八節気 
 小満(しょうまん)
  新暦5月21日頃
   万物の命がしだいに生長して天地に
   満ち始める時期です。山野の緑がいちだんと
   濃さを増していき、「小満」には、秋に蒔い
   た麦が穂をつけ、稔りの時を迎えられそうで
   ひと安心(小さな満足)という意味があります。

七十二候 二十二候 
 蚕起食桑(かいこおきてくわをはむ)
  新暦5月21日〜5月25日頃
   孵化した蚕が桑の葉を盛んに食べる頃です。
   蚕の作る繭から絹糸をとるために、日本では二千年
   以上飼育されてきています。

 ※中国通信機器最大手の華為技術(ファーウェイ)は
  今秋にも、スマートフォン向けに自社開発した基本ソフト(OS)
  を実用化する見通しです。

天気 雨
ボンベ庫の温度 朝20℃ 昼20℃ 夜20℃
弊社 太陽光発電総発電量 6.7kW
本日のPM2.5  10.77μg/m 環境省そらまめ君より(さいたま市城南)
本日の電力最大消費率は?
(エレクトリカル・ジャパンElectrical Japan1(AM11:00)より)
北海道電79%、東北電85%、東電90%、中部電79%、北陸電81%
関西電81%、中国電86%、四国電80%、九州電65%、沖縄電力60%

利根川上流域の関東8ダム貯水率は?
5/21 11:00 116,773千m3 100.00% 258.83m3/sec
(利根川ダム管理管理事務所河川情報より)
(藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・下久保・草木および渡良瀬貯%水池)
*Twitter世界トレンドより
1位:びしょ濡れ 、2位:雨の日、
3位:半沢直樹、4位:雨と風、5位:ずぶ濡れ

ミゾイキクコ
@kikutomatu
1934年生まれ 84歳。
趣味・茶道、園芸、料理、写真、 お茶大理学部卒業。
ツイッター開始2010年1月28日。
著書:何がいいかなんて終わってみないとわかりません。
キクコさんのつぶやき(83歳の私がツイッターで伝えたいこと)。
月刊「3分クッキング」連載中。

「高齢になると、多くの人が本を読まなくなるし文章も書かなくなる。
こうなるとツイッターにしろ、フェイスブックにしろやりようもなくなる。
かく事がないとか。こういうのは基本的に子供の時からあまり本を読まなかったり、
基礎を学ばなかったり基礎知識がかけているからだと思う。全体的に意欲がない。」

西野亮廣氏ブログbyAmeba
「【親子で考えよう】「お金を稼ぐ」とは、どういうことなのか?」

klchem blogs by との

川口液化ケミカル株式会社へご相談・ご質問ございましたら、ご連絡をお願い致します。9:00〜17:00(土日祝日を除く)

WEBでお問い合わせ  048-282-3665