第4848号 TMPのQ&A
突然ですが・・・
ターボ分子ポンプのお悩み相談室です。
今日のご質問は？
質問１
到達真空度は、どこまで出る？
答え１
例えば、チャンバーの真空度はターボ分子ポンプの能力で決まります。
ターボ分子ポンプの真空度は、排気口圧力 ÷ 圧縮比で決まります。
圧縮比はターボ分子ポンプの翼からの放出されるガス量に影響されますが
この影響を減らすには、放出ガスの少ない翼に必要があり
表面処理が有効で 10e-10 Pa台の真空度が可能です。
質問２
ターボ分子ポンプのロータはなぜアルミニウム製なのでしょう？
答え２
それは密度が小さく、加工性が良いためです。
質問３
ターボ分子ポンプは補助ポンプと同時起動できるか？
答え３
ターボ分子ポンプが起動中にダウンしない程度のチャンバ容績
と補助ポンプの排気能力があれば可能でが、その目安は都度ご検討
ください。
質問４
ターボ分子ポンプの許容ガス流量は一定ですか?
答え４
以下はガス流量が低下します。
・外部から幅射熱がポンプに流入する場合
・高温のガスがポンプに流入する場合
・周囲温度や冷却水温度が規定より高い場合
・補助ポンプの排気速度が規定より小さい場合
高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
皇紀２６７９年（西暦２０１９年）
3月26日 火曜日 更待月
二十四節季 四節気 春分（しゅんぶん）
七十二候 十一候 桜始開(さくらはじめてひらく)
新暦3月26日〜3月30日頃
桜の花が咲き始める頃です。
満開を迎えるとすぐに、はかなくも散っていく桜は
「夢見草(ゆめみぐさ)」の異名もあります。
※韓国で機械メーカー「不二越」を相手に元朝鮮女子勤労挺身隊員らが
損害賠償を求めた訴訟で、原告側は26日、一、二審で勝訴したものの確定判決
が出ていない元隊員23人の賠償金などを確保するため、同社資産を裁判所の
決定に基づき差し押さえたと発表しました。
天気 くもり
ボンベ庫の温度 朝１０℃ 昼１１℃ 夜１３℃
弊社 太陽光発電総発電量 ２６．８kW
本日のPM2.5 １７.２９μg/m 環境省そらまめ君より（さいたま市城南）
本日の電力最大消費率は？
（エレクトリカル・ジャパンElectrical Japan１（PM3:00)より）
北海道電72%、東北電76%、東電74%、中部電77%、北陸電73%
関西電81%、中国電78%、四国電65%、九州電70%、沖縄電力70%
利根川上流域の関東８ダム貯水率は？
3/26 15:00 30,471千m3 26.4% 8.28m3/sec
（利根川ダム管理管理事務所河川情報より）
（藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・下久保・草木および渡良瀬貯%水池）
＊Twitter世界トレンドより
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ミゾイキクコ
@kikutomatu
1934年生まれ 84歳。
趣味・茶道、園芸、料理、写真、 お茶大理学部卒業。
ツイッター開始2010年1月28日。
著書:何がいいかなんて終わってみないとわかりません。
キクコさんのつぶやき（83歳の私がツイッターで伝えたいこと）。
月刊「3分クッキング」連載中。
「自治会の仕事も昨日の総会用文書の作成で完了。
ここ二年役員をしたがもう無いと思う。
まあ勉強になったこともある。
反省会という名前の呑み食いの会にも出たが、
これはこれで意味があるものだとおもえた。
地域の人とは挨拶する程度だが、
こういう会では滑らかに会話ができる。
皆いい人に思える。」
西野亮廣氏ブログbyAmeba
「息をするように文章を書く by キンコン西野」
klchem blogs by との