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第4848号 TMPのQ&A

突然ですが・・・

ターボ分子ポンプのお悩み相談室です。

今日のご質問は?

質問1
 到達真空度は、どこまで出る?
答え1
 例えば、チャンバーの真空度はターボ分子ポンプの能力で決まります。
 ターボ分子ポンプの真空度は、排気口圧力 ÷ 圧縮比で決まります。
 圧縮比はターボ分子ポンプの翼からの放出されるガス量に影響されますが
 この影響を減らすには、放出ガスの少ない翼に必要があり
 表面処理が有効で 10e-10 Pa台の真空度が可能です。

質問2
 ターボ分子ポンプのロータはなぜアルミニウム製なのでしょう?
答え2
 それは密度が小さく、加工性が良いためです。

質問3
 ターボ分子ポンプは補助ポンプと同時起動できるか?
答え3
 ターボ分子ポンプが起動中にダウンしない程度のチャンバ容績
 と補助ポンプの排気能力があれば可能でが、その目安は都度ご検討
 ください。

質問4
 ターボ分子ポンプの許容ガス流量は一定ですか?
答え4
 以下はガス流量が低下します。
 ・外部から幅射熱がポンプに流入する場合
 ・高温のガスがポンプに流入する場合
 ・周囲温度や冷却水温度が規定より高い場合
 ・補助ポンプの排気速度が規定より小さい場合

高圧ガス、低温機器、真空機器
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ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 皇紀2679年(西暦2019年)
 3月26日 火曜日 更待月

二十四節季 四節気 春分(しゅんぶん)
七十二候 十一候 桜始開(さくらはじめてひらく)
 新暦3月26日〜3月30日頃
 桜の花が咲き始める頃です。
 満開を迎えるとすぐに、はかなくも散っていく桜は
 「夢見草(ゆめみぐさ)」の異名もあります。

 ※韓国で機械メーカー「不二越」を相手に元朝鮮女子勤労挺身隊員らが
 損害賠償を求めた訴訟で、原告側は26日、一、二審で勝訴したものの確定判決
 が出ていない元隊員23人の賠償金などを確保するため、同社資産を裁判所の
 決定に基づき差し押さえたと発表しました。

天気 くもり
ボンベ庫の温度 朝10℃ 昼11℃ 夜13℃
弊社 太陽光発電総発電量 26.8kW
本日のPM2.5  17.29μg/m 環境省そらまめ君より(さいたま市城南)
本日の電力最大消費率は?
(エレクトリカル・ジャパンElectrical Japan1(PM3:00)より)
北海道電72%、東北電76%、東電74%、中部電77%、北陸電73%
関西電81%、中国電78%、四国電65%、九州電70%、沖縄電力70%

利根川上流域の関東8ダム貯水率は?
3/26 15:00 30,471千m3 26.4% 8.28m3/sec
(利根川ダム管理管理事務所河川情報より)
(藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・下久保・草木および渡良瀬貯%水池)
*Twitter世界トレンドより
1位:#このタグを見た人は好きなやきとりを言う 、2位:#あなたのストレスがMAXになったら、
3位:ソニックジャケットプレゼント、4位:投票企画、5位:投票受付中

ミゾイキクコ
@kikutomatu
1934年生まれ 84歳。
趣味・茶道、園芸、料理、写真、 お茶大理学部卒業。
ツイッター開始2010年1月28日。
著書:何がいいかなんて終わってみないとわかりません。
キクコさんのつぶやき(83歳の私がツイッターで伝えたいこと)。
月刊「3分クッキング」連載中。

「自治会の仕事も昨日の総会用文書の作成で完了。
ここ二年役員をしたがもう無いと思う。
まあ勉強になったこともある。
反省会という名前の呑み食いの会にも出たが、
これはこれで意味があるものだとおもえた。
地域の人とは挨拶する程度だが、
こういう会では滑らかに会話ができる。
皆いい人に思える。」

西野亮廣氏ブログbyAmeba
「息をするように文章を書く by キンコン西野」

klchem blogs by との

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