第4831号 TMP使用上の注意点
TMP（ターボ分子ポンプ）の使用上の注意事項をまとめています。
・腐食性ガスいついて
ポンプのロータやTMP内部の部品にはアルミニウム合金製品が
多く使われています。当然ながら腐食性ガスの排気に用いる場合
にはポンプ内部溶ガス部に耐腐食表面処理を施した機種を選択す
る必要があります。また、アルミニウム合金の粒界割れを引き起
こすガリウムを含む気体の排気には特に注意が必要となります。
耐ガリウム用として特別なタイプのターボ分子ポンプを開発して
いるメーカもあり、耐軸機構に対しても対策は必要で、保護する
ためのガスパージも必須となります。
・異物吸引について
微小な部品やウエハの破片、あるいは低温からの水や氷の侵入
はターボ翼を破損させたり、ねじ構部の間隙を詰まらせる恐れが
あります。そのためクライオポンプやトラップと併用する場合は
注意が必要です。
・過大流量について
ポンプの仕様に記されている最大流量以上で長時間の運転を続
けるとロータの破損に繋がる恐れがありますので注意が必要です。
・大気突入について
TMPの定格運転中はローターが高速回転していますので、吸気口
または排気口側に突然大気圧を導入すると、ロータが破損しポンプ
が壊れクラッシュする恐れがあります。
・外部からの過大な振動について
TMPの磁気軸受形や上部は磁気軸受、下部は玉軸受形のハイブリッ
ド軸受場合には、外部からの大きな振動が、軸と保護ベアリンを接
触させる「タッチダウン」を引き起こす場合があり故障の原因とな
りますので注意しましょう！
高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
皇紀２６７９年（西暦２０１９年）
3月8日 金曜日 既朔月
三節気 啓蟄（けいちつ） 七候 蟄虫啓戸（すごもりむしとをひらく）
※野党議員の質問姿勢を批判したことが問題となっていた
横畠内閣法制局長官が参議院予算委員会の金子委員長から異例
の厳重注意を受け、改めて謝罪しまし。
天気 晴れ
ボンベ庫の温度 朝５℃ 昼８℃ 夜８℃
弊社 太陽光発電総発電量 ３０．６kW
本日のPM2.5 ７.８３μg/m 環境省そらまめ君より（さいたま市城南）
本日の電力最大消費率は？
（エレクトリカル・ジャパンElectrical Japan１（PM4:00)より）
北海道電75%、東北電81%、東電82%、中部電79%、北陸電78%
関西電80%、中国電78%、四国電74%、九州電74%、沖縄電力71%
利根川上流域の関東８ダム貯水率は？
3/8 16:00 18,839千m3 16.3% 7.63m3/sec
（利根川ダム管理管理事務所河川情報より）
（藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・下久保・草木および渡良瀬貯%水池）
＊Twitter世界トレンドより
１位：フジロック 、２位：#あなたが裏で噂になっていること、
３位：エルレ、４位：#WUG_SSA、５位：Nebula Sky
ミゾイキクコ
@kikutomatu
1934年生まれ 84歳。
趣味・茶道、園芸、料理、写真、 お茶大理学部卒業。
ツイッター開始2010年1月28日。
著書:何がいいかなんて終わってみないとわかりません。
キクコさんのつぶやき（83歳の私がツイッターで伝えたいこと）。
月刊「3分クッキング」連載中。
「私は今84歳です。
親はとうに亡くなっています。
自分の事は自分が一番考えます。
人を当てにはできません。
誰だって自分の事で一杯なのです。
だから人におんぶしようなぞと考えられないのです。
若い時からそれを考えねばならないのです。
人を当てにする人の所へ人は寄ってきません。」
西野亮廣氏ブログbyAmeba
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klchem blogs by との