第4807号 ポンプの再生とは？（クライオポンプ）
溜め込み式の真空ポンプであるクライオポンプは
ポンプ内に溜め込んだガス（気体）をクライオポ
ンプの外に吐き出させポンプの性能を回復させる
ため再生させる操作が必要です。
再生させるためには、クライオポンプを停止させ
てから低温に冷えている部分を昇温させ、粗引き
ポンプで排気させ、冷却降下をさせる作業が必要
です。
通常の再生作業ではクライオポンプを停止させた
後に、ポンプ内部に窒素ガスを導入しポンプケー
スを約７０℃程度まで加熱し室温まで昇温させま
す。クライオポンプ内部では低温で気化したアル
ゴンガスや窒素ガス以外にも水分など溜め込んで
います。スパッタ装置など水分が少ない場合には
室温まで昇温せずに低温再生が可能で 150〜200K
程度まで昇温し、その後、粗引きして所定の圧力
で粗引きを終了しクライオポンプを起動させます。
通常、溜め込まれたガスの種類や量によりますが
４〜１０時間程度を要しますが低温再生であれば
１〜２時間程度で完了します。ただし、水分につ
いては排出されませんので３〜6ヶ月に1度程度は
常温まで昇温させる通常再生が必要です。
高圧ガス、低温機器、真空機器
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
皇紀２６７９年（西暦２０１９年）
２月１２日 火曜日 宵月
一節気 立春(りっしゅん) 二候 黄鶯睍睆 (うぐいすなく)
※第70回さっぽろ雪まつりは札幌市中央区の大通会場と東区の
つどーむ会場を合わせた来場者は273万7千人と、過去最多だった
2017年を9万4千人上回ったようですね。
天気 くもり
ボンベ庫の温度 朝４℃ 昼５℃ 夜７℃
弊社 太陽光発電総発電量 １７．１kW
本日のPM2.5 10.06μg/m 環境省そらまめ君より（さいたま市城南）
本日の電力最大消費率は？
（エレクトリカル・ジャパンElectrical Japan１（PM1:00)より）
北海道電78%、東北電80%、東電74%、中部電78%、北陸電80%
関西電74%、中国電78%、四国電74%、九州電77%、沖縄電力51%
利根川上流域の関東８ダム貯水率は？
02/12 23:00 31,510千m3 27.3% 0.00/sec
（利根川ダム管理管理事務所河川情報より）
（藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・下久保・草木および渡良瀬貯%水池）
＊Twitter世界トレンドより
１位：#いま自分がもってる意味不明な画像を晒せ 、２位：#メンテの日なのでssを貼る、
３位：中村倫也、４位： # Gガンダム、５位： アマガミ
ミゾイキクコ
@kikutomatu
1934年生まれ 84歳。
趣味・茶道、園芸、料理、写真、 お茶大理学部卒業。
ツイッター開始2010年1月28日。
著書:何がいいかなんて終わってみないとわかりません。
キクコさんのつぶやき（83歳の私がツイッターで伝えたいこと）。
月刊「3分クッキング」連載中。
「結婚して苦労する人、
結婚から逃げる為に
苦労する人さまざまですね。」
西野亮廣氏ブログbyAmeba
「クラウドファンディングのお手本はキングコング西野」
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