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第4775号 ダイヤフラム真空計(キャパシタンス)とは?

ダイヤフラムを利用した真空計が、キャパシタンスゲージです。

キャパシタンスダイヤフラムゲージ
Capascitansce Diaphragm Gauge

キャパシタンスゲージ(隔膜真空計)は、数Pa から大気圧までの
範囲で圧力によって生じる物理的な力による容量値の変化を数値化
した真空計です。高真空室と測定真空室をダイヤフラムで遮蔽して
おり真空度の変化によって変形するダイヤフラムのたわみを電極と
容量値の変化により真空度に変換しています。ダイヤフラムによっ
てセンサー部と隔てられているので計測ガスの影響をセンサーが受
け難く、半導体から成膜装置、真空熱処理炉、真空浸炭炉などのプ
ロセス真空度制御やプロセス中の監視用に多く利用されております。
低真空ゲージの代表格であるピラニ真空計と測定域が重なりますが
反応性ガスやデポ物などでフィラメントが消耗する等といったこと
が防げたり、キャパシタンスのセンサー自身がヒーター加熱され反
応ガスの影響を受け難いといった利点もあり、安価なピラニ真空計
との用途上の差別化ができます。

高圧ガス、低温機器、真空機器
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今日の埼玉県川口市のお天気は?
 皇紀2679年(西暦2019年)
 1月10日 木曜日 夕月

 二十三節気 小寒(しょうかん) 六十八候 水泉動(しみずあたたかをふくむ)
 ※韓国の文在寅大統領は韓国大統領府で年頭の記者会見に出席し
  同国の女性記者は、経済政策基調に変化をもたらさないように
  する理由を質問として「その自信はどこからくるのか」と語り
  ました。

天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝2℃、昼3℃、夜3℃
弊社 太陽光パネル総発電量 10.1kW
本日のPM2.5  18.05μg/m 環境省そらまめ君より(さいたま市城南)
本日の電力最大消費率は?
(エレクトリカル・ジャパンElectrical Japanより)
北海道電71%、東北88%、東電89%、中部電68%、北陸電83%
関西89%、中国電71%、四国電71%、九州電69%、沖縄電力53%

利根川上流域の関東8ダム貯水率は?
01/10 23:00 53,568千m3 46.4% 0.00m3/sec
(利根川ダム管理管理事務所河川情報より)
(藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・下久保・草木および渡良瀬貯水池)
*Twitter世界トレンドより
1位: 約束のネバーランド、2位:防犯ベル
3位:#身長が同じくらいの刀剣男士は誰ですか、4位:射手座のB型、5位:#五等分の花嫁
です。

ミゾイキクコ
@kikutomatu
1934年生まれ 84歳。
趣味・茶道、園芸、料理、写真、 お茶大理学部卒業。
ツイッター開始2010年1月28日。
著書:何がいいかなんて終わってみないとわかりません。
キクコさんのつぶやき(83歳の私がツイッターで伝えたいこと)。
月刊「3分クッキング」連載中。

「そこなんですよね。
誰であれ人の言ったことを鵜呑みにする人ってなぜと考えない。
なぜ、どうしてとかんがえることがだいじ。
これは反抗とはちがうのです。
探究心につながることなのです。」

西野亮廣氏ブログbyAmeba
「キンコン梶原がオリラジ中田にキレている件について」by キンコン西野

klchem blogs by との

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