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第4703号 Sputter deposition:スパッタリング装置のことなら・・・。

スパッタリングとは?

真空チャンバー内に薄膜としてつけたい金属をターゲットとして設置し
高電圧をかけてイオン化させた希ガス元素(普通はアルゴンを用いる)
や窒素(普通は空気由来)を衝突させます。

すると・・・

ターゲット表面の原子がはじき飛ばされ、基板に到達して製膜すること
が出来ます。

薄膜の半導体、液晶、プラズマディスプレイ、光ディスク用の薄膜を製
造する手法として用いられ、真空チャンバー内にガスを導入して、これ
をはじき飛ばされた金属と反応させることによって化合物を製膜する反
応性スパッタ法で、2極、3極、4極、RF、マグネトロン、対向ターゲット
ミラートロン、ECR、PEMS、イオンビーム、デュアルイオンビームなどの
方式があります。

今日はスパッタ装置の移設です。

2018.10.30sputter1.jpg
都内某所大学実験室用スパッタ装置

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設置前のスペースがあっという間に所狭しと・・・。

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精密機器専用運搬トラックからの積み下ろし作業中

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ガス、真空、電源、冷却水などユーティリティ接続完了!

2018.10.30sputter8.jpg 2018.10.30Sputter 9.jpg
実験室ががパンパンですね!

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今日の埼玉県川口市のお天気は?
 皇紀2678年(西暦2018年)
 10月30日 火曜日 二十三夜

 十八節気 霜降(そうこう)  
  五十三候 霎時施(こさめ ときどきふる)
   新暦10月28日~11月1日頃
   小雨がパラパラと、降ったりやんだり
   するようになる頃です。
   「霎」は、しぐれ(時雨)とも読みます。

 ※三菱重工業と宇宙航空研究開発機構(JAXA)は温室効果ガス観測技術衛星
「いぶき2号」とアラブ首長国連邦の観測衛星などを載せたH2Aロケット40号機を
  種子島宇宙センターから打ち上げ成功しました。
  H2AとH2Bを合わせた日本の主力ロケットの成功率は97.9%(47機中46機成功)
  です。

 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝13℃、昼17℃、夜17℃
 本日のPM2.5  3.11μg/m 環境省そらまめ君より(さいたま市城南)
 本日の電力最大消費率は? 
(エレクトリカル・ジャパンElectrical Japanより)
 北海道電64%、東北電90%、東電87%、中部電69%、北陸電87%
 関西85%、中国電69%、四国電59%、九州電69%、沖縄電力43%

 利根川上流域の関東8ダム貯水率は? 
 10/30 23:00 112,920千m3 97.8% 13.02m3/sec
 (利根川ダム管理管理事務所河川情報より)
 (藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・下久保・草木および渡良瀬貯水池)
  *Twitter ランキング ついっぷるトレンドより
 1位、Mac mini、2位:質問箱
 3位:満塁ホームラン、4位:加治屋、5位:高谷
です。

ミゾイキクコ
@kikutomatu
1934年生まれ 84歳。
趣味・茶道、園芸、料理、写真、 お茶大理学部卒業。
ツイッター開始2010年1月28日。
著書:何がいいかなんて終わってみないとわかりません。
キクコさんのつぶやき(83歳の私がツイッターで伝えたいこと)。
月刊「3分クッキング」連載中。

「そうですね。
 自分の生んだ子自分が育てることは当たり前。
 苦労したとか大変だったとか、そんなのは当たり前なんですよね。
 その分返してもらうとはおかしなりょうけん。

 引用ツイート
 桃缶@momokan220
 返信先: @kikutomatuさん
 子供の頃 体が弱かった夫
 苦労して育てたのだから これから その分 返してもらうと
 嫁に来た時 姑に言われました
 どれだけ年月が経とうが、子は 己の所有物と 思っている様です」

klchem blogs by との

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