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第4670号 スパッタ装置改修及び再販

スパッタ装置の改修およびリユース装置販売

やっております!

例えば・・・

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SPF430変更、仕様追加対象機

概要
・DC電源 2機追加(別電源)
・トランジスタ製RF電源 1機追加(別電源9
・ターゲット3個に対しRF,DC同時放電及び制御の変更
・CRYO PUMP電極など冷却用チラー及び別電源追加
・以上変更に伴うガス配管、電気配線の変更など

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・各コントローラーはローカル選択において単独制御可能
・装置設置タイマーにて制御する場合は引火制御パネルを使用
・No,1DC,No,2DC,No3,RFをオルタネートスッチ選択で出力制御
・印加開始はON SW(モーメンタリー)にて、タイマーカウントアップで停止
 またはSW OFFにて印加停止

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電源
・装置本体 AC200V 三相 60A
・チラー   AC200V 三相 2.5kW
・RF電源  AC200V 20A
・1DC電源 AC200V 15A
・2DC電源 AC200V 15A

給水
・20℃ 10L/min

圧空
・φ6 チューブコネクター 0.6MPa

プロセスガス
・Ar  SWL1/4 0.1MPa
・O2  SWL1/4 0.1MPa
パージガス
・N2  SWL1/4 0.1MPa

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CRYO PUMP
・Max 900L/min

重量
・装置本体   約650kg
・RP      約60kg
・RF,DC電源  約200kg
・CRYOコンプレッサー 約90kg
・チラー     約115kg

※真空ポンプ個別OH及び修理、エクスチェンジ用貸出機対応可能

高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
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FAX 048-281-3987
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今日の埼玉県川口市のお天気は?
 皇紀2678年(西暦2018年)
 9月27日 木曜日 居待月

 十六節気 秋分(しゅうぶん)四十六候 雷乃収声(かみなりすなわちこえをおさむ)
 ※貴乃花親方が相撲協会に引退届を提出し、協会からの圧力を訴えた問題で
  協会のパワハラや体質への批判の他、貴乃花親方を心配する声や
 「新団体」の設立を期待するユーザーもいるようです。

 天気 雨
 ボンベ庫の温度 朝19℃、昼℃、夜18℃
 本日のPM2.5 6.86μg/m 環境省そらまめ君より(さいたま市城南)
 本日の電力最大消費率は? 
(エレクトリカル・ジャパンElectrical Japanより)
 北海道電60%、東北電86%、東電83%、中部電61%、北陸電78%
 関西80%、中国電64%、四国電58%、九州電53%、沖縄電力54%

 利根川上流域の関東8ダム貯水率は? 
 09/28 00:00 88,202千m3 76.4% 11.58m3/sec
 (利根川ダム管理管理事務所河川情報より)
 (藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・下久保・草木および渡良瀬貯水池)
  *Twitter ランキング ついっぷるトレンドより
 1位:志水正義、2位:列島警察
 3位:清水正義、4位:アメトーク、5位:千葉雄大
です。

ミゾイキクコさん Twitte
1934年生まれ 84歳 埼玉県在住。
趣味・茶道、園芸、料理、写真、 お茶大理学部卒業。
ツイッター開始2010年1月28日。70年前から見てきた人々の
生活、戦争中、敗戦後の生活、高齢者問題について呟きます。

ミゾイキクコ
kikutomatu
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