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第4662号 Capacitance Gauge:キャパシタンス

ダイヤフラムの両側に圧力差を加えたときに生じる膜の変形から

全圧を知る圧力計が・・・

「隔膜真空計:キャパシタンスマノメーター」

です!

2018.09.19capamano1.jpg

C = ε0 x S / d
C  : 静電容量
ε0: 誘電率
S :電極面積
d :電極間距離

ダイヤフラムの膜により測定側と基準側に分けられたい状態で
基準側が固定された電極が設置されており真空が維持されています。
測定側の圧力が変化することによりダイヤフラムが撓み(たわみ)
電極とダイヤフラムの距離が変化することにより、これらの間に
発生する静電容量も変化します。

この静電容量の変化を計測して圧力値に換算して測定側の圧力を
導き出します。

2018.09.19capamano3.jpg

例えば・・・

真空熱処理炉のチャンバー内圧力を、ガス導入側と、真空ポンプの排気側で
バランスさせている状態をつぶさに監視し熱処理製品歩留まりに寄与します。

2018.09.19capamano2.jpg

または・・・

コーティング装置のプロセスチャンバー内圧力をキャパシタンスマノメータで
測定し、ガス導入のマスフローコントローラーやバブラーなどを経由しキャリ
アガスによってコントロールされたガス濃度を調整したり、プラズマエミッション
コントローラーを介しPMTユニットによりプラズマ発光状態を制御します。

フルスケール測定レンジ
・133.32 Pa ( 1Torr )
・1.3332 kPa (10Torr )
・13.332 kPa (100Torr )
・133.32 kPa (1000Torr)

温度
・55℃
・100℃

継手
・KF16
・1/2″VCR-Female
・ICF34

精度     :0.5%R.S、0.25%R.S
分解能    :0.03%F.S、0.01%F.S
ゼロ温度係数 :0.005%F.S/℃、0.0025%F.S/℃
スパン温度係数:0.03%R.S/℃、0.02%R.S/℃
応答時間   :< 60msec
使用温度範囲 :10~45℃(55℃型)、10~50℃(100℃温調型)
接ガス部材質 :SUS316L,Ni合金
加圧限界   :350kPa(A)
出力信号   :0~10VDC 負荷抵抗 10kΩ以上
電源電圧   :+15VDC±5%0.6A max , -15VDC±5%0.6A max
        24VDC±5% 22W max
暖機時間   :60分(55℃温調型)、120分(100℃温調型)
セットポイントリレー  :個数2個、接点タイプ:1a1b 最大負荷0.1A
オープンコレクタ出力 :定格電圧:30V、定格電流:50mA

高圧ガス、低温機器、真空機器
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 9月19日 水曜日 宵月

 十五節気 白露(はくろ) 四十五候 玄鳥去(つばめさる)
 ※安倍首相は東京・秋葉原で自民党総裁選を締めくくる街頭演説をした際
  聴衆の一部から「辞めろ」コールが沸き起こり、会場は騒然とした雰囲気に
 「安倍内閣は退陣を」などと書かれたプラカードも林立していました。

 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝20℃、昼24℃、夜24℃
 本日のPM2.5 8.64μg/m 環境省そらまめ君より(さいたま市城南)
 本日の電力最大消費率は? 
(エレクトリカル・ジャパンElectrical Japanより)
 北海道電88%、東北電79%、東電81%、中部電86%、北陸電84%
 関西86%、中国電90%、四国電88%、九州電84%、沖縄電力76%、

 利根川上流域の関東8ダム貯水率は? 
 09/19 21:00 79,422千m3 68.8% 10.94m3/sec
 (利根川ダム管理管理事務所河川情報より)
 (藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・下久保・草木および渡良瀬貯水池)
  *Twitter ランキング ついっぷるトレンドより
 1位:カホコ、2位:ガーデン級
 3位:完全試合、4位:笑ってコラえて、5位:山田遥楓
です。

ミゾイキクコさん Twitte
1934年生まれ 84歳 埼玉県在住。
趣味・茶道、園芸、料理、写真、 お茶大理学部卒業。
ツイッター開始2010年1月28日。70年前から見てきた人々の
生活、戦争中、敗戦後の生活、高齢者問題について呟きます。

「社会の支配層は次の世代も支配層になる様に子供を育てる。
 遊びも一つの経験。幅を広げるものと考える。
 これに対して、被支配層は、遊んでる余裕はない。
 仕事をしろが第一。
 手伝え。
 あそびは無駄位にかんがえる。
 学校教育についても軽んじる。
 まして女の子になぞ。
 社会人になる初めから差がある。」

klchem blogs by との

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