川口液化ケミカル株式会社へのお問い合わせはこちらまで。9:00〜17:00(土日祝日を除く)

WEBでお問い合わせ 048-282-3665

ホーム  /  ブログ  /  真空機器  /  第4653号 Gate valve ゲートバルブ

第4653号 Gate valve ゲートバルブ

ベンドロールバルブ、フローコントロールバルブ、真空ポンプ~チャンバー間のゲートバルブ
圧力制御可能なAPC、スリットバルブ、ワーク出入口の大気~チャンバー間や
チャンバー~チャンバー間の仕切りとして・・・

そして、クラスター型チャンバーのプロセス装置用各種バルブなど

2018.09.10gate1.jpg

超高真空チャンバー、粒子線加速器、電子滅菌装置など
オールメタルバルブ、FCV高速シャッターバルブ、超高真空バルブ

2018.09.10gate2.jpg
ロールカムゲートバルブ
4.0x10e-11Pa・m3/sec本体
1.3x10e-10Pa・m3/sec弁体
使用温度 90℃ 本体・ゲート
開閉時間 1.0~3.0sec
材質 アルミニウム A5052本体、弁体
操作圧力 0.45~0.55MPa

真空蒸着、エッチング、アッシング、スパッタリング、CVD、PVD、エピタキシャル装置
グローブボックス、真空炉、ALD、ロール to ロール装置、スペースチャンバー
溶解炉、放射光施設、SEM、ドライ洗浄、イオン注入、アニール炉
etc

・真空内無揺動構造
  真空内グリス不使用
  パーティクルフリー
・任意の開口寸法、取合寸法
  半導体200mm,300mmサイズより大きく、小さくしたい対応
・選べる耐圧仕様
  ドア、正圧、逆圧、それぞれ最適な駆動部

高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
E-mai : info★klchem.co.jp
※★を@に代えてお知らせください

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 皇紀2678年(西暦2018年)
 9月10日 月曜日 朔(新月) 
 
 十五節気 白露(はくろ) 四十三候 草露白(くさのつゆしろし)
 ※日本時間の11日午後1時19分頃、ニュージーランド付近を震源とする
  地震があり震源の深さは約130キロ、マグニチュードは7.0と推定されます。

 天気 曇りのち雨
 ボンベ庫の温度 朝28℃、昼30℃、夜29℃
 本日のPM2.5 ーμg/m 環境省そらまめ君より(さいたま市城南)
 本日の電力最大消費率は? 
(エレクトリカル・ジャパンElectrical Japanより)
 東電91%、北陸電78%、中部電88%、関西86%、中国電83%
 四国電87%、九州電82%、北海道電 – %、東北電78%

 利根川上流域の関東8ダム貯水率は? 
 09/10 21:00 152,953千m3 70.9% 57.15m3/sec
 (利根川ダム管理管理事務所河川情報より)
 (藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・下久保・草木および渡良瀬貯水池)
  *Twitter ランキング ついっぷるトレンドより
 1位:FFCC.、2位:クリスタルクロニクル
 3位:ジャッジアイズ、4位:サムスピ、5位:出川イングリッシュ
です。サムライスピリッツ

ミゾイキクコさん Twitter
1934年生まれ 84歳 埼玉県在住。
趣味・茶道、園芸、料理、写真、 お茶大理学部卒業。
ツイッター開始2010年1月28日。70年前から見てきた人々の
生活、戦争中、敗戦後の生活、高齢者問題について呟きます。

ミゾイキクコさんがリツイート
小石川真実
‏@M_Koishikawa
小石川真実さんが萩をリツイートしました
「私は被害者と訴えてきた人間が
 元々の加害者だった事例は多い。
 「精神障害の子供が激しく暴力を振るうので
 子供を閉鎖病棟に閉じ込めるしかない」と言う親が
 実は先に子供の意思を完全に無視したスパルタ教育をやり
 子供を病ませていた事例を私も知る。
 相談を受ける人はこれを正しく見抜いて欲しい。」

klchem blogs by との

川口液化ケミカル株式会社へご相談・ご質問ございましたら、ご連絡をお願い致します。9:00〜17:00(土日祝日を除く)

WEBでお問い合わせ  048-282-3665