第4431号 液体を気化させて正確に流す・・・
常温常圧下で、液体の溶媒などをガス化させ
正確に装置などに導くには・・・
液中を窒素ガスなどバブリングさせ
キャリヤーガスと一緒に流す方法はあるものの
窒素ガスの流量制御をコントロールするのみで
液体の流量を正確に制御することは難しいです。
実際に装置側で対象物である液体の瞬時流量が
多くなったり少なくなったり、不安定になることで
装置本来の製品化が難しいことも少なくありません。
そうした場合には、液体の流量制御機器とキャリヤーガスを精密制御し
気液混合状態で気化器に導き、ガス化させる供給方式があります。
液体MFC+キャリヤーガスMFC+気化器システム
例えば・・・
水であれば 0.25 ~ 1200 g/hr の水を気化して
大気圧、加圧、真空、いずれのプレイケーションでも供給可能です。
室温下でTEOS , HMDSO , Cupreaselect , H2O などをタンクから
不活性ガスによって圧送され、マスフローメーターで流量計測し
必要な液体流量を設定してミキシングバルブで組み込まれた液体流量
コントロールバルブにより液体の流量が制御されます。
ミキシングバルブで混合されたガスと液体は気化器に送られ
完全に気化されます。
コントロール Control、エバポレーション Evaporeation 、ミキシング Mixing
の頭文字から CESシステムとなります。
特徴としては・・・
ETOH,SnCl4,TiCl4,HMSO,TCA,TMB,HMDSn,TEOS,H2O
SiHCl3,TIBA,Zn(C2H5)2,SiH3Cl
Alcohol,Butanol,Ethanol,Hexhanol etc
・精密に制御された気液混合
・高速応答
・高再現性
・非常に安定した蒸気混合(経時安定性)
・気液混合比率の柔軟な選択性
・低運転温度
・PC / PLCによる制御
が可能です!
高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
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今日の埼玉県川口市のお天気は?
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天気 はれ
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弊社 太陽光パネル総発電量 12.1kW
本日のPM2.5 9.17μg/m 環境省そらまめ君より(さいたま市城南)
本日の電力最大消費率は?
(エレクトリカル・ジャパンElectrical Japanより)
東電83%、北陸電86%、中部電88%、関西91%、中国電88%
四国電89%、九州電89%、北海道電83%、東北電85%
利根川上流域の関東8ダム貯水率は?
01/31 17:00 307,892m3 66.7% (国土交通省関東地方整備局HPより)
(藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・下久保・草木および渡良瀬貯水池)
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神立255cm,水上高原210cm,白馬竜王370cm,上越国際310cm,マウントジーンズ那須150cm
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です。
ミゾイキクコさん Twitterより
@kikutomatu 1934年生まれ 83歳。
趣味・茶道、園芸、料理、写真、 お茶大理学部卒業。
ツイッター開始2010年1月28日。70年前から見てきた人々の
生活、戦争中、敗戦後の生活、高齢者問題について呟きます。
著書:何がいいかなんて終わってみないとわかりません。
「人に嫌われている人、自分がどれだけ人から嫌われているか知らない。
誰もまともにつきあってくれる人がいないのだから当然。」