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第4431号 液体を気化させて正確に流す・・・

常温常圧下で、液体の溶媒などをガス化させ

正確に装置などに導くには・・・

液中を窒素ガスなどバブリングさせ

キャリヤーガスと一緒に流す方法はあるものの

窒素ガスの流量制御をコントロールするのみで

液体の流量を正確に制御することは難しいです。

実際に装置側で対象物である液体の瞬時流量が

多くなったり少なくなったり、不安定になることで

装置本来の製品化が難しいことも少なくありません。

そうした場合には、液体の流量制御機器とキャリヤーガスを精密制御し

気液混合状態で気化器に導き、ガス化させる供給方式があります。

2018.01.31vapor1.JPG
液体MFC+キャリヤーガスMFC+気化器システム

例えば・・・

水であれば 0.25 ~ 1200 g/hr の水を気化して

大気圧、加圧、真空、いずれのプレイケーションでも供給可能です。

2018.01.31vapor2.JPG

室温下でTEOS , HMDSO , Cupreaselect , H2O などをタンクから

不活性ガスによって圧送され、マスフローメーターで流量計測し

必要な液体流量を設定してミキシングバルブで組み込まれた液体流量

コントロールバルブにより液体の流量が制御されます。

ミキシングバルブで混合されたガスと液体は気化器に送られ

完全に気化されます。

2018.01.31vapor3.JPG

コントロール Control、エバポレーション Evaporeation 、ミキシング Mixing

の頭文字から CESシステムとなります。

特徴としては・・・

ETOH,SnCl4,TiCl4,HMSO,TCA,TMB,HMDSn,TEOS,H2O
SiHCl3,TIBA,Zn(C2H5)2,SiH3Cl
Alcohol,Butanol,Ethanol,Hexhanol etc

・精密に制御された気液混合
・高速応答
・高再現性
・非常に安定した蒸気混合(経時安定性)
・気液混合比率の柔軟な選択性
・低運転温度
・PC / PLCによる制御

が可能です!

高圧ガス、低温機器、真空機器
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 利根川上流域の関東8ダム貯水率は? 
 01/31 17:00 307,892m3 66.7% (国土交通省関東地方整備局HPより)
 (藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・下久保・草木および渡良瀬貯水池)
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 神立255cm,水上高原210cm,白馬竜王370cm,上越国際310cm,マウントジーンズ那須150cm
  *Twitter ランキング ついっぷるトレンドより
 1位:赤い月、2位:スーパーブルーブラッドムーン、3位:今日の月
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です。

ミゾイキクコさん Twitterより
@kikutomatu 1934年生まれ 83歳。
趣味・茶道、園芸、料理、写真、 お茶大理学部卒業。
ツイッター開始2010年1月28日。70年前から見てきた人々の
生活、戦争中、敗戦後の生活、高齢者問題について呟きます。
著書:何がいいかなんて終わってみないとわかりません。

「人に嫌われている人、自分がどれだけ人から嫌われているか知らない。
 誰もまともにつきあってくれる人がいないのだから当然。」

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