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第4313号 プロセスチャンバー の プレッシャーコントローラー 

・コントローラー
・キャパシタンス
・マノメーター
・スロットルバルブ
・外部制御装置(ホスト・コンピューターなど)

などの機器を制御するプレッシャーコントローラーのご紹介です!

2017.10.05PressureController2.JPG

2台の異なるキャパシタンスマノメーターを接続して、広範囲な圧力のモニターと

圧力制御が可能です。

2017.10.05PreserController.jpg

3種類のプレッシャー・コントロール・アルゴリズムを任意に選択できます。
1)アダプティブモード
2)PIDモード
3)ハイブリッド・モード
※フロントパネル及びCOM1通信ポートから制御可能

2017.10.05PressureController3.JPG 2017.10.05PressureController4.JPG

外形寸法    W127xH63xD217(mm)、フロントパネル W150xH88(mm)
重量      1.4kg
欧州RoHS規制  適応品
コントロールレンジ   3~5レンジ(マノメーター2台接続時)
コントロール精度   ±0.25% of 設定値 + ±0.01% of センサーフルスケール値
最大分解能   0.01% of センサーフルスケール
推奨する最低圧力設定値 1.0% of センサーレンジ
入力電源    ±15VDC  入力 ±5%
        +15V側 1Amp以上 -15V側 0.5A以上
        ※上記電流値に同時に使用するキャパシタンスマノメータの消費電流は
         含まれておりません
制御方法    ・フロントパネルから制御
        ・J-4 RS-232C通信制御
        ・J-3 AUX端子からのアナログ入力電圧&外部コールド接点入力制御
CDG圧力信号入力電圧 0-10VDC
圧力/角度信号出力電圧 0-5VDCまたは0-10VDC(内蔵DipSwitchで選択可)
アナログ制御信号入力電圧  0-5VDCまたは0-10VDC(内蔵DipSwitchで選択可)
バルブOpen/Close時間 1.8sec
内蔵セットポイントリレー1/2 Max. 30VDC 100mA(抵抗負荷)
接点条件     ※Ac100/200V電源は入力しないで下さい
接続可能キャパシタンスマノメーター ±15VDC入力型、0-10VDC出力仕様キャパシタンスマノメーター
         +15V~+24V単電源入力、0-10VDC出力仕様キャパシタンスマノメーター
接続可能なバルブ MDVXシリーズ、MRシリーズスロットルバルブ
AUX端子出力   ・圧力信号、角度信号アナログ電圧(0-10/0-5VDC)
         ・バルブ Open/Close状態情報
         ・セットポイントリレー 1/2
         ・CDG 1/2 アナログ信号出力情報
AUX端子入力   ・バルブ Open,Close,Hold/Control信号入力
         ・CDG Zero校正トリガー信号
         ・圧力/角度制御選択信号
         ・CDG 1/2制御選択信号

2017.10.05PressuerController5.JPG 2017.10.05pressuerController6.JPG

・アクティブ・プレッシャー・コントロール
 クローズ・ループ・アルゴリズムとデジタル・サンプリング方式を用いて
 圧力目標値に到達するスピードアップ及び目標到達後バルブのホールド機能
 をもっています。小口径1.5~3インチスロットルバルブで圧力制御性が良好です。

・PIDプレッシャー・コントロール
 大型チャンバーの低排気能力の装置の場合、アクティブ・アルゴリズムによる
 圧力制御では最適な制御ができない場合があり、この場合ガス流量やポンプの
 能力により、装置の実際の反応が遅くなっているためです。このように反応が
 遅い装置については、マニュアル・チューニングのPIDアルゴリズムを選択する
 ことができます。PIDアルゴリズムは、フェーズとゲインの二つのコントロール
 パラメーターを選択することができます。

・ハイブリッド・アルゴリズム
 PIDアルゴリズムとアクティブ・アルゴリズムの両方の長所を生かして広範囲な
 セットポイントとガス流量に対応できます。プレッシャーとフローの最高値と
 最低値に対し、最高のゲインと最適なフェーズを選択するための調査が最初に
 必要で、最適なパフォーマンスのためにゲインフェーズを調整します。この
 アルゴリズムでは大口径スロットルバルブで使用するのが効果的です。

2017.10.05PressureController7.JPG

各種ガス導入系から、真空排気ポンプおよびメンテ、コールドトラップまで
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今日の埼玉県川口市のお天気は?
 皇紀2677年(西暦2017年)
 10月5日 木曜日  小望月

 十六節気 秋分(しゅうぶん)  水始涸(みずはじめてかるる)
 ※ノーベル文学賞に、日系イギリス人カズオ・イシグロ氏が選ばれました。
  1954年に長崎で生まれ、5歳の時、日本人の両親とともにイギリスに渡り
  その後、イギリス国籍を取得したベストセラー作家です。

 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝16℃、昼18℃、夜19℃
 弊社 太陽光パネル総発電量 29.1kW
 本日のPM2.5 10.5μg/m3 環境省そらまめ君より(さいたま市城南)
 本日の電力最大消費率は? 
(エレクトリカル・ジャパンElectrical Japanより)
 東電89%、北陸電94%、中部電87%、関西86%、中国電91%
 四国電76%、九州電90%、北海道電70%、東北電83%

 利根川上流域の関東8ダム貯水率は? 
 10/05 20:00 284,844m3 61.7% (国土交通省関東地方整備局HPより)
 (藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・下久保・草木および渡良瀬貯水池)
  *Twitter ランキング ついっぷるトレンドより
 1位:カズオ イシグロ、2位:内山昂輝、3位:LUNA SEA
 4位:ルザミーネ、5位:向ヶ丘遊園
です。

ミゾイキクコさん Twitterより
@kikutomatu 1934年生まれ 83歳。
趣味・茶道、園芸、料理、写真、 お茶大理学部卒業。
70年前から見てきた人々の生活、戦争中、敗戦後の生活、高齢者問題について呟きます。
著書:何がいいかなんて終わってみないとわかりません。

「母の世代は祖父から日露戦争のことを
 現実に兵士として戦ったものの話が聞けたが
 私世代はそれはできません。
 太平洋戦争については戦地の話を聞いてますし
 内地での空襲、物不足、竹槍の稽古、バケツリレーで
 消火訓練等馬鹿げた事を見てきた世代です。」

klchem blogs by との

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