第4308号 油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟの操作方法 Part2
油拡散ポンプの操作方法につき、昨日は先ず注意事項を
お知らせ致しましたので・・・
具体的な運転開始の方法から、運転停止まで順を追ってご紹介して参ります。
油拡散ポンプの運転開始について
一般的な真空排気系の使用例に沿った運転では次のような操作になります。
１、真空排気系全てのバルブを「閉」の状態にしてからスタートになります。
２、冷却水を、油拡散ポンプ及び水冷バッフルに流し、閉塞や操作間違いなどで
断水されていないことを再度確認して下さい。
３、油拡散ポンプの補助ポンプは油回転ポンプ（ロータリーポンプ）が一般的ですが
補助ポンプを起動スタートします。
４、補助バルブを「開」にして、補助ポンプが油拡散ポンプ内を排気側の背圧を
20 Pa ～ 15 Pa 以下に真空度が上がるまで排気します。
５、前項４の準備をピラニ真空計などで確認ができたら、油拡散ポンプのヒーター電源
をＯＮにして作動油の加熱を開始します。概ね、ヒータースイッチ通電後約３０分
程度で排気可能な準備が整います。
６、３０分経過した後、補助バルブを「閉」にしてから、粗引きバルブを開けて
粗引き操作を行ない、チャンバー内の圧力が 1 MPa 以下に到達するまで排気し
続けます。
７、粗引きバルブを「閉」にいして、補助バルブを開けて、メインバルブを開け
本引き操作に移行します。
運転開始操作は以上の通りですが、新品の油拡散ポンプを使用するとき
パッキン、金属表面、作動油から放出されるガスや水分などはゆっくりと排気されて
いきますので、ポンプ本体の最高の到達真空度に至るまで時間が掛かることが予想
させます。
油拡散ポンプの運転停止について
油拡散ポンプで真空装置を排気することで目的が達成され、使用を終了するには
以下の手順となります。
油拡散ポンプの運転停止について
先ず、油拡散ポンプを大気に戻す場合には、ヒーター電源を切ってから１～２
時間して油拡散ポンプの作動油が６０℃以下になってからゆっくりと大気を導入
して下さい。６０℃以上で大気導入すると、作動油が酸化して性能を維持できな
くなります。更に、作動油が酸化している場合には新しい作動油に交換をしてく
ださい。油拡散ポンプが正常に運転されていても冷却水や使用圧力などの使用条
件によって作動油が減少しますので定期的に作動油の量と質を確認します。
では、停止の操作を見てみましょう！
１）粗引きバルブを「閉」、補助バルブを「開」にした状態で、メインバルブを
「閉」にします。
２）油拡散ポンプを冷却するため、ヒータースイッチを切ります。
３）ヒーター電源を切断した後、３０分から１時間以上経過したことを確認して
から補助バルブを「閉」にします。
４）油回転ポンプ（ロータリーポンプ）のリークバルブを「閉」にして、油回転
ポンプ（補助ポンプ）を停止します。
５）冷却水の通水を停止して、終了となります。
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です。
ミゾイキクコさん Twitterより
@kikutomatu 1934年生まれ 83歳。
趣味・茶道、園芸、料理、写真、 お茶大理学部卒業。
７０年前から見てきた人々の生活、戦争中、敗戦後の生活、高齢者問題について呟きます。
著書:何がいいかなんて終わってみないとわかりません。
「一つ屋根の下で一階と二階で暮らしている状況で
土用の丑の日に今夜うちは鰻を食べるので
お母さんの分も用意しますねと言われたら
我々世代は鰻その物でなく夕飯と思います。
其れが普通なんですが。
1人暮らしを考えてのことと思うのですよ。
鰻だけ用意するなら念の為ご飯は用意てくださいねと。」
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