ダイヤモンドライクカーボン膜とは？
ダイヤモンドライクカーボンとは？
半導体の製造技術の進歩とともに発展した真空プラズマ中での薄膜製造プロセスにより
新しい物性をもつ炭素材料で、炭素原子は共有結合をつくる4個の不対電子を持ち、この
4個の電子の軌道のとりかたで結合形態が変わり物性も変化するものです。
結合形態 電子軌道 炭素材料
1重結合 SP3 混成 ダイヤモンド
2重結合 SP2 混成 グラファイト
3重結合 SP 混成 カルビン
ダイヤモンドライクカーボン膜は、長距離秩序をもたないアモルファス構造に1重結合や
2重結合を含むものと考えられております。
DLC イオン源模式図 ※ﾅﾉﾃｯｸ様技術資料より
では、ダイヤモンドライクカーボンカーボン膜は、どのようにして作るのでしょうか？
通称、DLC膜は高真空中のアーク放電プラズマで炭化水素ガスを分解し、プラズマ中の
イオンや励起分子を製品基板に電気的に加速することでエネルギーをぶつけ手形成しま
す。
荷電粒子の衝突エネルギーは温度換算すると数万℃にも及び局所的に高温高圧状態
を作り出して通常環境では不可能な結晶構造を生み出しているのです。
・DLC膜
比重 ： >2.0
硬さ ： 1800 ～ 2500 HV
比抵抗 ： 10 e6 Ωcm
屈折率 ： 2.4
熱膨張係数 ： –
熱伝導率 ： -
・ダイヤモンド膜
比重 ： 3.5
硬さ ： 5000 ～ 10,000 HV
比抵抗 ： > 10 e16 Ωcm
屈折率 ： 2.4
熱膨張係数 ： 0.8 x 10 e-6 (20℃)
熱伝導率 ： 0.4 ～ 1.7
・グラファイト膜
比重 ： 2.3
硬さ ： –
比抵抗 ： 10 e3 Ωcm
屈折率 ： –
熱膨張係数 ： 7.8 x 10 e-6Pa
熱伝導率 ： 0.4 x 1.7 (W・cm/k)
※硬度はﾅﾉｲﾝﾃﾞｰｼｮﾝ硬度をﾋﾞｯｶｰｽﾞ硬度に換算した値です。
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
2015年12月21日 月曜日 宵月
※東芝の2016年度3月期の通期業績予想（2015年4月〜2016年3月）は、売上高が6兆2000億円
営業損益が3400億円の赤字（前年同期は1704億円の黒字）、税引き前損益が3000億円の赤字
（同1366億円の黒字）、当期純損益が5500億円の赤字（同378億円の赤字）で過去最大の赤字を
計上しました。
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝5℃、昼7℃、夜8℃
弊社 太陽光パネル総発電量 13.6kW
本日の電力最大消費率は？
東電87%、北陸電88%、中部電91%、関西電82%、中国電88%
四国電85%、九州電81%、北海道電74%、東北電83%
＊Twitter ﾗﾝｷﾝｸﾞ
1位：紅白、2位：レミ、3位：胸ｷｭﾝｽｶｯ、4位：冬休み、5位：ﾄﾘｽﾀ
です。
魂は、燃えたがっている
自分のためだけに頑張るのは
限界がある。
誰だって
余計なことをせずラクもしたいし
面倒なことはやりたくなし
決めたことを続けるのは難しい。
でも
誘惑、好き嫌い、損得、制限、制約
周りからの評価、印象、期待、レッテル
などを超えて
動けるときがある。
それは
誰かのために
「あの人に、～してあげたい」
「役に立って、喜んでもらえるなら」
と純粋に思ったとき。
そのとき
ソールスイッチが押されて
魂が燃える。
（小田真嘉氏成長のﾋﾝﾄﾌﾞﾛｸﾞより）
by との
.8 x 10 e-6 (W・cm/k)