拡散ﾎﾟﾝﾌﾟのﾒﾝﾃﾅﾝｽ
油拡散ポンプとは？
半導体製造・加工装置などの真空チャンバーに主に用いられる
真空ポンプである。主に油拡散ポンプが使われるが、用途によ
っては水銀拡散ポンプが使われることもある。DPと略される
こともある。下部のヒーターで熱せられたジェット状の拡散オ
イル蒸気は、超音速に到達して分子を捕獲し10-3から10-7Pa
（10-5から10-9Torr）程度の真空まで作り出すことができる。
また、コールドトラップ（液体窒素トラップが普通）を併用し
て使用しチャンバー内の水分を除去しながら排気を行えば排気
速度の向上にもつながる。
（Wikipediaより）
13500L/sec 大型DP
主な高真空ポンプは、ターボ分子ポンプやクライオポンプに
油拡散ポンプです。
中でも油拡散ポンプはモーターなどを使用していないので
駆動部の故障が無いシンプルな構造のため、他のポンプに
比べ安価ですし、メンテナンスも容易です。
但し、ユーティリティーとして冷却水が止まると油拡散
本体のポンプ内部で蒸気となったオイルが排気側に丸ご
とオイルバックしてしまうと装置チャンバー内を油でベ
チャベチャに汚してしまう恐れがあります。
また、冷却水が無いとオイルを極端に消耗しオイルの焦
げ付きが発生すると、内部を洗浄するなどメンテナンス
が必要になりますのでご注意ください。
油拡散ポンプのご用命から、ポンプ脱着を伴うメンテ
ナンスや、ロータリーポンプを含めたオーバーホールまで
川口液化ケミカル株式会社へご相談ください。
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
E-mail : info★klchem.co.jp
※★を@に代えてお知らせください。
ありがとうございます
今日の埼玉県さいたま市のお天気は？
2015年6月6日 土曜日
※カナダ出身の人気歌手ジャスティン・ビーバーさんが
暴行と無謀運転の罪で有罪を認めたそうです。
天気 晴れのちくもり
気温 19℃(PM7:00)
本日の電力最大消費率は？
（ｴﾚｸﾄﾘｶﾙｼﾞｬﾊﾟﾝより）
東電78%、北陸電76%、中部電83%、関西電68%、中国電89%
四国電80%、九州電75%、北海道電70%、東北電77%
※Twitter ランキング
1位：ﾊﾟﾌﾞﾛ、2位：じーな、3位：pripara、4位：りぽぽ、5位：総選挙
埼玉県インターハイ予選
in 埼玉スタジアム2002
浦和南高校 vs 東京農大三校.MOV
結果 浦和南高校 ３対１（前半１−１） 東京農大三校
赤き血のイレブン、頑張れ！！
by との