川口液化ケミカル株式会社へのお問い合わせはこちらまで。9:00〜17:00(土日祝日を除く)

WEBでお問い合わせ 048-282-3665

拡散ポンプのメンテナンス

油拡散ポンプとは?

2015.06.06DP1.JPG

半導体製造・加工装置などの真空チャンバーに主に用いられる
真空ポンプである。主に油拡散ポンプが使われるが、用途によ
っては水銀拡散ポンプが使われることもある。DPと略される
こともある。下部のヒーターで熱せられたジェット状の拡散オ
イル蒸気は、超音速に到達して分子を捕獲し10-3から10-7Pa
(10-5から10-9Torr)程度の真空まで作り出すことができる。
また、コールドトラップ(液体窒素トラップが普通)を併用し
て使用しチャンバー内の水分を除去しながら排気を行えば排気
速度の向上にもつながる。
(Wikipediaより)

2015.06.06DP2.JPG
13500L/sec 大型DP

主な高真空ポンプは、ターボ分子ポンプやクライオポンプに
油拡散ポンプです。

中でも油拡散ポンプはモーターなどを使用していないので
駆動部の故障が無いシンプルな構造のため、他のポンプに
比べ安価ですし、メンテナンスも容易です。

2015.06.06DP3.JPG 2015.06.06DP4.JPG

但し、ユーティリティーとして冷却水が止まると油拡散
本体のポンプ内部で蒸気となったオイルが排気側に丸ご
とオイルバックしてしまうと装置チャンバー内を油でベ
チャベチャに汚してしまう恐れがあります。

2015.06.06DP5.JPG

また、冷却水が無いとオイルを極端に消耗しオイルの焦
げ付きが発生すると、内部を洗浄するなどメンテナンス
が必要になりますのでご注意ください。

油拡散ポンプのご用命から、ポンプ脱着を伴うメンテ
ナンスや、ロータリーポンプを含めたオーバーホールまで
川口液化ケミカル株式会社へご相談ください。
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
E-mail : info★klchem.co.jp
※★を@に代えてお知らせください。

ありがとうございます

今日の埼玉県さいたま市のお天気は?
 2015年6月6日 土曜日
 ※カナダ出身の人気歌手ジャスティン・ビーバーさんが
 暴行と無謀運転の罪で有罪を認めたそうです。

 天気 晴れのちくもり
 気温 19℃(PM7:00)
 本日の電力最大消費率は?
 (エレクトリカルジャパンより)
 東電78%、北陸電76%、中部電83%、関西電68%、中国電89%
 四国電80%、九州電75%、北海道電70%、東北電77%

 ※Twitter ランキング
 1位:パブロ、2位:じーな、3位:pripara、4位:りぽぽ、5位:総選挙

埼玉県インターハイ予選
in 埼玉スタジアム2002
浦和南高校 vs 東京農大三校.MOV

2015.06.06DP6.JPG
結果 浦和南高校 3対1(前半1−1) 東京農大三校

赤き血のイレブン、頑張れ!!

 by との 

川口液化ケミカル株式会社へご相談・ご質問ございましたら、ご連絡をお願い致します。9:00〜17:00(土日祝日を除く)

WEBでお問い合わせ  048-282-3665