川口液化ケミカル株式会社へのお問い合わせはこちらまで。9:00〜17:00(土日祝日を除く)

WEBでお問い合わせ 048-282-3665

ホーム  /  ブログ  /  真空機器  /  真空油拡散ポンプ(ディフュージョンポンプ)

真空油拡散ポンプ(ディフュージョンポンプ)

これは何でしょう?

2015.04.10油拡散1.jpg

上部面はJIS 4″ フランジですから、何かの真空機器かな?

2015.04.10油拡散2.jpg 2015.04.10油拡散3.jpg 2015.04.10油拡散4.jpg
そうです真空ポンプの主に高真空領域で使用する 「油拡散ポンプ」 です。

10e-5 ~ 10e-1 Pa の真空領域範囲内で使用できます。

至って単純な構造で、上の写真3枚のように、シリンダーと呼ばれる胴体の容器に
ジェットという傘状のものがシリンダーの中に置いてあって、中に油拡散真空ポン
プ用のオイルが入れてあるんですね。そして、シリンダー下部に埋め込まれたヒー
ターで加熱されると油拡散用オイルが液体から蒸気に変わり上昇します。

するとシリンダー胴体の外部にコイル状で巻かれた水冷ジャケットにより冷やされ
て、油拡散用オイルが蒸気から液体のオイルに変わるのですが、その間、蒸気で
ポンプ内空間を浮遊する間にガス分子と結合していますので、液化したオイルと
一緒にオイル溜まりに胴体壁面を伝って落ちて行く過程で補助ポンプであるロー
タリーポンプなどでガス分子が真空引きされ、またヒーターで加熱され蒸気になり
ガス分子を捕まえて壁面から液化して溜まりといった繰り返しで真空度を上げてい
く可動部のない真空ポンプです。

2015.04.10油拡散5.jpg 2015.04.10油拡散6.jpg 2015.04.10油拡散7.jpg

構造が簡単であるからこそ、ヒーターのスイッチ入り切りだけで、運転が出来てしま
いますが、大切な冷却水を流し忘れるとオイルが焦げ付いてしまい焼け取りなどの
オーバーホールが必要になります。

また、蒸気のオイルが吸気フランジを通過してチャンバー側などにオイルが回ってし
まうことがありますので、製品や真空中に油が飛んでくることを嫌う処理には向いて
いません。なるべくオイルが上がらないようにバッフルという遮蔽板に冷却水を流し
たり、液体窒素を流して確実にオイル上がりを防止する方法もあります。

2015.04.10油拡散8.tif 2015.04.10油拡散9.tif

構造が簡単で故障も少ないため、他の高真空ポンプであるターボ分子ポンプや
クライオポンプよりも安価であり、尚且つ、排気量が非常に多く取れる特徴もある
ため、オイル上がりさえ防止できれば非常に割安な高真空ポンプではあります。

是非、ご検討下さい!

各種真空ポンプ(油拡散ポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオポンプ、ロータリーポンプ
ダイヤフラムポンプ、ドライポンプ、水封ポンプなど)のことなら
川口液化ケミカル株式会社へご相談下さい。
※既存ポンプの調子が悪いものをオーバーホール承ります。
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
E-mail : info★klchem.co.jp
※★を@に変えてお知らせ下さい。

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 2015年4月10日 金曜日
 ※茨城県鉾田市から鹿嶋市にかけての海岸に、イルカおよそ160頭が
  打ち上げられているのが見つかり、地元の人たちが救出作業に当たりました。
  東日本大震災のときも同様にイルカが打ち上げられています。

 天気 曇りのち雨
 ボンベ庫の温度 朝6、昼8℃、夜6℃
 花粉指数 50個未満 多い
 弊社 太陽光パネル総発電量 19kW
 本日の電力最大消費率は?
 (エレクトリカルジャパンより)
 東電89%、北陸電85%、中部電91%、関西電89%、中国電89%、四国電90%、九州電88%
 北海道電80%、東北電84%

 *twitter ランキング
 1位:ドラえもん、2位:ロボ、3位:金城、4位:セペダ、5位:村田
です。

まずは知る努力をすることから始める 

 いい人生にするには
 いい人と出会う。

 いい人と出会うためには
 いい仕事をする。

 いい仕事をするには
 自分の良いところを発揮する。
 周りの良いところを引き出す。

 そのためには

1.いろいろなことに挑戦し
 自分の得意不得意、好き嫌い、クセを知る。

2.自分の感覚と基準を周りに求めず(期待せず)
 自分と相手が違うことを認める。

3.周りの欠点探しを止めて、許し、諦め
 良いところ(強み、長所、特技、武器)を探し
 それが引き出されるような関わり方をする。

(小田真嘉氏成長のヒントブログより)

 by  との

川口液化ケミカル株式会社へご相談・ご質問ございましたら、ご連絡をお願い致します。9:00〜17:00(土日祝日を除く)

WEBでお問い合わせ  048-282-3665