エキシマレ−ザ−用ガス供給設備
エキシマレーザー用のガスにはフッ素(F2)や塩化水素(HCl)のほか
水素(H2)、ヘリウム(He)などの混合されたレーザーガスを使用して
レーザー発振するため、実験用から新商品開発用、生産用まで裾の広く
利用されております。
ご存知の通り、フッ素ガス、塩化水素ガス、水素ガスは、人体に影響の
ある毒性ガスであり、発火源があると爆発するおそれのある可燃性ガス
です。
日本国内法規である高圧ガス保安法でも、毒性ガスはシリンダ−キャビネットに
収納することが原則で、可燃性ガスでも近年では都市部の大学や研究開
発機関で法対応設備を整えることが規定されております。
HCl+H2ほかエキシマレ−ザ−用混合ガス16L容器+ヘリウムガス47L容器 2本立てシリンダ−キャビネット
ボンベ収納だけでなく、配管工事も継手部をスウェージロック継手のように
締付けが緩んで漏れの可能性があるものでなく、定尺ステンレス製配管同士
を自動溶接機で溶接してしまう溶接配管施行することで継手部はキャビネッ
ト内など局所排気してしまうことで、万が一の対策も万全な設備をお薦め致
します。
シリンダーキャビネット内も局所排気されているとは言え、ガス漏えい時には
ガス漏えい警報を発報するガス検知器、漏えい検知ブザーユニット、ガス供給
系緊急遮断機構などをそなえることが望ましいです。
特殊材料ガスから毒性ガス、可燃性ガス、支燃性ガス、自燃性ガスなど
シリンダーキャビネットのご検討、供給設備の機器選定、設計、製作、改修まで
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
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※★を@に変えてお知らせ下さい。
ありがとうございます
今日の埼玉県さいたま市のお天気は?
2015年3月8日 日曜日
※ニューヨーク外為市場では円
下落し、終盤の取引では0.05%安の120.72円で取引でした。
天気 雨のち晴れ
気温 9℃(PM7:00)
本日の電力最大消費率は?
電力使用量計測サイト(エレクトリカルジャパン)より
東電78%、北陸電ND、中部電84%、関西電81%、中国電ND、四国電ND、九州電85%
北海道電81%、東北電81%
*Twitter ランキング
1位:プリキュア、2位:ニンニンジャ−、3位:七つの大罪、4位:ブレン、5位:nitiasa
です。
場所を変えれば、生き方が変わる
長くいる場所ほど
手をかけて
気持ちいい空間にしていく。
気持ちいい空間は、いい心をつくり
いい心は、豊かな人間関係を育み
豊かな人間関係は、人生を運んでくれる。
(小田真嘉氏成長のヒントブログより)
by との