油拡散ポンプ（ディフュージョンポンプ）
真空ポンプの高真空対応型の油拡散ポンプは、油拡散ポンプ下部に位置するヒーターで
油拡散ポンプ専用オイルを気化させた油蒸気をポンプ本体中央の中空円筒の中を上方に噴射
させることで真空中の気体分子を巻き込むことでガスを排気します。
油蒸気にトラップさせたガス分子を抱いた油蒸気は、水冷又は空冷により冷却されたポンプ
の内壁やバッフル板に付着し液化してポンプ下部のオイル溜まりまで伝って落ちていきます。
するとヒーターで再度暖められて油蒸気となり上昇して真空中のガス分子を接触させること
で真空度を上げるといった、他のポンプのように駆動部がなく故障の少ないとてもシンプル
な高真空用真空ポンプです。
左 ： 真空排気セットに組み込まれた油回転ポンプ＋油拡散ポンプ
中央 ： 油拡散ポンプ（ディフュージョンポンプ）
右 ： 油拡散ポンプ専用オイル（消耗品）
ポンプの価格も他の同等仕様高真空ポンプ（ターボ分子ポンプ or クライオポンプ etc）と比
較しても安価であり、また、筐体と比較しても真空排気量をかせぐことのできるポンプです。
イギリスの老舗メーカーであるエドワーズ社には、油拡散ポンプに液体窒素トラップを組み
合わせて、排気量と到達真空度、更には清浄な高真空を作れるCCTトラップという名器を超
高真空のMBEなど分析装置に搭載して販売するなどしており、最高級仕様の油拡散ポンプも
存在します。
ただし、オールマイティーという訳にいかず、油蒸気が循環するため補助ポンプ側のロータ
リーポンプに吸引され消耗しますので定期的な補充が必要です。また、ハンドリングを誤ると
リアクター（真空チャンバー側）に油蒸気が回ってしまい汚染してしまうことがありますので
油上がりを起こさないよう十分な注意が必要です。
油回転ポンプ同様に定期的なメンテナンスなど管理を滞ると途端に到達真空度と排気量がダウン
してしまいますので面倒臭がらず手間をかけていただければ、いつまでも仕様できます。
油回転ポンプ、油拡散ポンプ、液体窒素トラップなど
川口液化ケミカル株式会社までご相談下さい。
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ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
2013年6月12日 水曜日
暑さ指数 21.4℃（注意）PM1:00 ※環境省HP
※台風３号は１２日午後、日本の南海上をゆっくりとした速度で東寄りに進んみ気象庁は
台風の動きが遅いため、雨が長時間にわたって降る地域があるとして、土砂災害、低地の
浸水、河川の増水などへの警戒を呼びかけています。
（新東名駿河湾沼津SA 午後４時頃の雨雲）
天気 あめ
ボンベ庫の温度 朝20℃、昼21℃
本日の電力最大消費率は？
東電85%、北陸電95%、中部電91%、関西電88%、中国電92%、四国電95%、九州電93%
北海道電80%、東北電88%
です。
「腐草為蛍（くされたるくさ ほたるとなる）」
に入りました。
蛍が明かりを灯し、飛び交う時期です。
昔の人は、腐った草が蛍に生まれ変わると信じたそう。
もちろん、実際の蛍は土の中からでてきます。
水の中で過ごした幼虫は、
水辺の草を這い上がって成虫となり舞い始めます。
蛍は成虫になるとほとんど水しか飲まず、
光を放ちながら、飛び続けるのだそうです。
（お食事ゆにわﾁｺ店長ﾌﾞﾛｸﾞより）
by との