超小型ﾏｽﾌﾛｰ・圧力ﾒｰﾀｰ及びｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
超小型のMFC（ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ）のご紹介です。
コンパクト型マスフローコントローラー
ガス仕様 ： W 40mm x D 20mm x H 60mm
液体仕様 ： W W40mm x D 20mm x H 60mm
ﾌｯﾄﾌﾟﾘﾝﾄ ： 0.75インチ ※汎用機種 1.5インチ
流量範囲 ： 0.2 ～ 5000 sccm ( ml / min )
ﾌﾟﾚｯｼｬｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ ： 2.1 kPa ～ 1.05 MPa
※欧州規格で国内申請品ではありません。
IQ + FLOW ﾏｽﾌﾛｰﾒｰﾀｰ／ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
性能仕様
・精度（流量ｾﾝｻｰ） 標準±0.8% RD + ±0.2% FS （実校正ﾍﾞｰｽ：その他ご要求に応じます）
・精度（圧力ｾﾝｻｰ） ＜ 0.5% FS
・繰り返し性 ＜ 0.2% RD
・ｾﾄﾘﾝｸﾞ時間（調節計） 200msec まで可能
・温度影響 ＜ ±0.1% FS / ℃
・ﾘｰｸﾚｰﾄ 流量 1 x 10e-8 mbar ・ L/sec He
圧力 1 x 10e-6 mbar ・ L/sec He
・取付け姿勢 ﾈｸﾞﾘｼﾞﾌﾞﾙ
メカニカル仕様
・構成材料 ｱﾙﾐ、Si、SiOx、ｴﾎﾟｷｼ （接ｶﾞｽ部材質：ｵﾌﾟｼｮﾝｽﾃﾝﾚｽﾎﾞﾃﾞｨ）
・ﾌﾟﾛｾｽ接続 10-32 UNF ﾒｽﾈｼﾞ ※ｵﾌﾟｼｮﾝ仕様あり
・ｼｰﾙ Viton、その他
・重量 約 0.2 kg (200g)
電気仕様
・ﾘｰﾄﾞｱｳﾄｻﾝﾌﾟﾙ時間 15 msec
・ﾘｰﾄﾞｱｳﾄ分解能 15 bit (0.003%FS )
・電源 +15 ～ +24Vdc、50mA（ﾒｰﾀｰ）
・出力、設定信号 1-channel : 0～5(10)Vdc , 0(4)～20mA (souring output)及びRS232C
multipchannel : RC232C or RS485
・電気接続 RJ45ﾓｼﾞｭﾗｰｼﾞｬｯｸ
・ｹｰｽ等級 IP40
運転条件
・流量ﾚﾝｼﾞ 最小 0.2～10sccm / 最大 0.1～5 slm
（8ｷｬﾘﾌﾞﾚｰｼｮﾝｶｰﾌﾞ貯蔵可能）
・圧力ﾚﾝｼﾞ 最小 2.1kPa ～ 105 kPa
最大 0.021 MPa ～ 1.05 MPa
・測定可能ｶﾞｽ種 ﾄﾞﾗｲ、清浄、不燃及び非腐食性ｶﾞｽ
・運転温度 5～50 ℃
・最大運転圧力 1.05 MPa
・流量計圧力損失 20 hPad (20 mbard)@1 slm Air & 0 MPa(g)
超高圧仕様MFC/MFM、超高温MFC/MFM、液体MFC/MFM、超小型MFC/MFMのことなら
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ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
2013年5月29日 水曜日
暑さ指数 20.6℃（ほぼ安全）PM1:00 ※環境省HP
※国連食糧農業機関（ＦＡＯ）が認定する「世界農業遺産」に熊本、大分、静岡の３地域が認定
されることが決まりました。
認定されるのは、熊本県阿蘇地域の野焼きなどで草原を守りながら受け継がれてきた「阿蘇
の草原と持続的農業」、大分県国東くにさき半島宇佐地域のクヌギ林やため池を活用した
「国東半島宇佐の農林漁業循環システム」、静岡県掛川市など５市町の「静岡の茶草場農法」
以上の３件になります。
天気 雨のち曇り
です。
過去の蓄積が今、今の積み重ねが未来
努力しても
それが結果に現れるまでに時差がある
どれぐらいの時差かは
人によっても
状況によっても違う
もし今、いい結果が出ているからと言って
油断して手を抜いていたら
近いうちに
そのツケが確実にやって来る
逆に
今、なかなか思うような結果が出ていなくても
ちゃんとやり続けていたら
いつか収穫のときがやって来る
（小田真嘉氏成長のﾋﾝﾄﾌﾞﾛｸﾞより）
by との