特殊材料ガス消費施設基準
特殊材料ガスの取り扱いに関する関係法規としては、昭和60年に KHK が
「特殊材料ガス災害防止基準」を作り、平成3年12月に高圧ガス取締法改正
の折、特殊高圧ガスを特に規制することとなり、平成4年5月「特殊材料ガス
等消費指導基準（案）」が基準化されると伴に政令及び省令改正が行われま
した。
特殊材料ガスの指定は、高圧ガス保安法第24条の2の特定高圧ガスと第24
条5の適用を受けるガスになります。
高圧ガス保安法24条の2 特殊材料ガス（7種）及び特定高圧ガス
・モノシラン SiH4 シリコン系
・ジシラン SiH2H6 シリコン系
・アルシン AsH3 ヒ素系
・ホスフィン PH3 リン系
・ジボラン B2H6 ホウ素系
・モノゲルマン GeH4 金属水素化物
・セレン化水素 H2Se 金属水素化物
高圧ガス保安法第24条の5 特殊材料ガス
・四フッ化ケイ素 SiF4 シリコン系
・五フッ化ヒ素 AsF5 ヒ素系
・三フッ化リン PF3 リン系
・五フッ化リン PF5 リン系
・三フッ化ホウ素 BF3 ホウ素系
・テルル化水素 H2Te 金属水素化物
・スチビン SbH3 金属水素化物
・三フッ化窒素 NF3 ハロゲン化物
・四フッ化硫黄 SF4 ハロゲン化物
上記16種以外のガスで KHK の「特殊材料ガス災害防止自主基準」の適用を受ける
ガスとして以下のガスを定めています。
材料ガス
・ジクロルシラン SiH2Cl2 シリコン系
・三塩化シラン SiHCl3 シリコン系
・四塩化ケイ素 SiCl4 シリコン系
・三フッ化ヒ素 AsF3 ヒ素系
・三塩化ヒ素 AsCl3 ヒ素系
・五塩化ヒ素 AsCl5 ヒ素系
・三塩化リン PCl3 リン系
・五塩化リン PCl5 リン系
・オキシ塩化リン POCl3 リン系
・三塩化ホウ素 BCl3 ホウ素系
・三臭化ホウ素 BBr3 ホウ素系
・水素化スズ SnH4 金属水素化物
・六フッ化タングステン WF6 ハロゲン化物
・六フッ化モリブデン MoF6 ハロゲン化物
・四塩化ゲルマニウム GeCl4 ハロゲン化物
・四塩化スズ SnCl4 ハロゲン化物
・五塩化アンチモン SbCl5 ハロゲン化物
・六塩化タングステン WCl6 ハロゲン化物
・五塩化モリブデン MoCl5 ハロゲン化物
・トリアルキルガリウム GaR3 金属アルキル化物
・トリアルキルインジウム InR3 金属アルキル化物
・トリアルキルアルミニウム AlR3 金属アルキル化物
・ジアルキル亜鉛 ZnR2 金属アルキル化物
特殊材料ガスに関するガス及びガス機器、ガス流量計、特殊ガス配管工事まで
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
2012年10月22日 月曜日
※日本の海上保安庁の巡視船が火災を起こした貨物船から中国人船員
６４人を救助したようです。
沖縄本島の南東約150キロで発生し貨物船からの救難信号を受けた
台湾から第１１管区海上保安本部（那覇市）に連絡があり、巡視船２隻を
派遣し21日朝までに、中国人の船員64人全員を救助しましたが、 国営
新華社通信は事実関係だけを短く伝え、中国外務省は謝意を示さなかったようです。
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝16℃、昼17℃、夜18℃
本日の電力消費率は？
東電81%,北陸電75%,中部電82%,関西電76%,中国電75%,四国電77%,九州電83%
です。
・言いたいことを我慢して飲み込む
・やろうと思っていることの先延ばし
・「まぁいいか」のごまかし
それらは心のゴミとなり、ひとつひとつは小さくても、溜まってくると悪影響になる
メモリ不足のパソコンのように、次第に思考と行動が重くなって
頭が回らなくなり、心も働かなくなる
思い切って、言いたいことを言う
やり残しで、すぐにできることから完了させる
何かひとつ、とことんやり切ってみる
すると、頭が冴えはじめ、心もスッキリし
性能がどんどんアップしていく
（小田真嘉氏成長のﾋﾝﾄﾌﾞﾛｸﾞより）
By との