乾式除害装置
乾式除害装置は、今や小型の装置に据え置きで利用されるほど一般的なものとなりました。
端的に言ってしまえば排ガスを窒素希釈しながら吸着塔に流せば無害化できる非常にシン
プルなものです。だからこそ基本的なルールを守らないと事故につながる可能性が高いと
も言えます。
ドライエッチング装置用乾式除害装置の使用上の注意を見ながら乾式除害のルールを感じ
てみてください。
・ドライエッチングの排ガス中に含まれる可燃性ガスの濃度は、爆発下限界濃度の 1 / 5
以下になるように、十分窒素ガスで希釈をしてください。
・ドライエッチング装置から排出される排ガス中の酸素濃度は、必ず５％以下となるよう
窒素ガスで希釈をしてください。
・窒素ガスで希釈した窒素＋ドライエッチング排ガスの合計流量は除害装置規定流量以下
とし、除害対象ガスの合計濃度が１％以下になるよう使用します。
・大気や水分を混入させたり流入させることの無いよう管理して下さい。
・除害装置の各部品を水で濡らしてはいけません。
・除害装置を使用開始した後は、排ガス（有害ガス）が除害装置内に流れていますので装
置の開放を絶対にしてはいけません。
・吸着塔の入口側、出口側の継手を脱着する場合には、バルブの開閉順序を守って操作し
ましょう。
→吸着塔接続時には、IN,OUT継手を接続したら先ず「出口バルブ」を開け、次に「出口
バルブを開けます。
→切り離し時には、「入口バルブ」を閉じた後、「出口バルブ」を閉じ、最後にIN,OUT
接続継手を開放し切り離します。
・吸着塔の出口側にある最終インジケーター（覗き窓）が青紫から黄色に変色したものは
使用せず、直ちに除害剤の交換をしてください。
・吸着塔の真中にある中間インジケーター（覗き窓）の色が変色した場合には交換時期が
近づいている目安となります。
・吸着塔を設置して1年を経過したものは、基本的に除害剤交換をお薦めいたします。
・吸着塔交換時には、入口側、出口側両方の閉止板（メクラフランジ）を取付け、バルブが
確実に閉じていることを確認してください。
・ドライエッチング用乾式除害装置には、装置が爆発する可能性がありますのでSiH4,Si2H6
SiH2Cl2,ｼﾗﾝ系,TEOS,AsH3,PH3,B2H6,ﾄﾞｰﾋﾟﾝｸﾞ類を流してはいけません。
・O2,O3,N2をﾌﾟﾛｾｽｶﾞｽとして使用し同時にﾌﾟﾗｽﾞﾏ反応させると NOx が生成し、硝酸ｴｽﾃﾙ
が生成する可能性があり、蓄積すると爆発する危険性があります。
※硝酸ｴｽﾃﾙ CH3ONO2 , C2H5ONO2
ﾆﾄﾛ化合物 CH3NO2 , C2H5ONO2
乾式除害装置のご用命は川口液化ケミカル株式会社までご相談下さい。
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
※ｱﾄﾞﾚｽ先頭のCutHereはｽﾊﾟﾑ対策です。
ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
2011年12月19日 月曜日
※朝鮮中央通信は北朝鮮の最高指導者で国防委員会委員長の金正日キムジョンイル総書記＝
朝鮮人民軍最高司令官＝が17日午前８時半、現地指導に向かう列車の中で急性心筋梗塞で
死去したと報じました。
年末最後にしながら年間TOPｸﾗｽの大騒ぎですね。
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝4℃、昼5℃、夜4℃
自然からのﾒｯｾｰｼﾞ
今日の風景は天空の山 戊申（つちのえさる）
大所高所から見渡せば、本物が見極められる。
人生の質は、いかに本物と出会い、近付くかで決まります。
まずは本物の人物と縁ができるような素養を磨くことです。
決して、誰のことも、見下さない、侮らない、バカにしない
差別しないことです。
すべての人に誠実に。
です。
「え！？そこまで教わっていません」
「聞いていないので知りませんでした」
「それは、私の仕事外なので関係ないです」
「やったことないので、できません」
と平気で言う人はいつまでたってもウダツがあがらない
そもそも世の中は理不尽なことが多かったり
急な変更があるもの
自己正当化の言い訳して自分を守っても
流れに取り残されて次第に周りの誰からも応援されなくなる
仕事の成果と人生の質を変えるには守るべきものを変えればいい
必要な情報は自分から取りにいく
分からないことは先回りして、聞いておく
自分都合よりも組織（チーム）の都合を優先して
良い成果につながるように最善と誠意を尽くす
何か（誰か）を守ろうとする人が
何か（誰か）から守られようになる
（小田真嘉氏成長のﾋﾝﾄﾌﾞﾛｸﾞより）
by との