20,000L / min の大流量マスフローコントローラー あります!
桁外れな、大流量コントロールバルブあります!
ナント 20000L/min ( 120 m3/hr ) です!
大流量MFM + コントロールバルブ
画像を見て、な~んだと思うなかれ。
簡単ではないですよ。
実際、出荷済みの大流量MFCで、動作不具合のご連絡があり詳細を確認
することがありました。
アナログ信号をキャンセルしてRS232Cの信号でMFCに接続して動作確認
すると、設定値には届かず、バルブ制御も不安定なためMFCの故障とみら
れておりました。
ところが・・・
流量下限域では正常に動作しているようで、バルブの制御信号も間違いなく
出力されているため、MFCとしての問題ではないことが判断つきました。
こんな場合、このMFMはPC接続してフリーソフトによりMFM動の作確認が
手に取るようにわかるので具体的な対策が直ぐにとることができるのが最高
の特徴です。
さて、問題あるとされたMFCは異常がなく、なぜ支障が出ていたのか?
それは・・・
お客様先で、実ガスを流すには大量のガスと送ガス設備が必要なので
コンプレッサー空気を利用してテストを行われたそうですが、実ガスとは異な
るためマスフローコントローラーとしてのバルブが全開であったとしても流れ
ないことになるのです。
もちろん異常ではなく、分子量の大きなガスにはありがちな症状です。
更には・・・
エアー駆動するためのコンプレサー空気の供給圧力が減圧されずに使用
していたためコントロールバルブの規定圧力以上で動作させていたため
当然ながら、動作が不安定になっていたものでした。
答えが分かってみると 「な~んだ!」 ですが
答えを見つける、探す作業は、タダではないんですよね~
MFC / MFM / APC に関するご質問ご相談のことなら
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ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は?
2011年11月2日 水曜日
※先月5日に死去した米アップル社共同創業者、スティーブ・ジョブズ氏の評伝
「スティーブ・ジョブズ」1 , 2巻が、合わせて100万部を早くも突破したそうです。
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝14℃、昼18℃、夜18℃
です。
親から愛されて、出会った人全てに愛されて、お金もあって…
何もかも満たされた人生を歩むことが最良とは限らない。
満たされない思いを抱えながらも、真理や道を求めて、
日々、祈るような気持ちで生きて、本当の幸せに至る人もいる。
不満足だからこそ、道を成就できるんだ。
(北極流今日の開運メッセージブログより)
By との