乾式除害剤
半導体に代表される特殊材料ガスは極めて強い毒性、腐食性を有する物が多くあります。
これらのガスは薄膜成長反応炉の中などで100％処理され無害なガスに変化することは無
く、原料ガスの多くは毒性、腐食性を持ったまま排出ガスとして捨てられます。
排ガス処理剤 「シリカエース」
このとき無害化するための除害設備が除害装置であり、対象ガスと吸着剤が反応して有害な
ガスを許容濃度TLV値以下にする肝が処理薬剤です。対称ガスに対しさまざまな吸着剤を選
択し、配合して吸着塔に充填されます。
吸着剤で無害化できる主な対象ガスは？
水素化合物
SiH4,B2H6,AsH3,PH3,H2Se,GeH4,SnH4,PbH4,NH3,H2S,HI,H2Te,SbH3
塩化物
Cl2,HCl,AsCl3,AsCl5,BCl3,PCl3,PCl5,POCl3,SiH2Cl2,SiHCl3,SiCl4,SnCl4
WCl6,C2ClF6,GeCl4,MOCl5
フッ化物
BF3,AsF3,AsF5,CF4,CHF3,F2,HF,MOF6,SF4,SF6,WF6,C2F6,C3F8,PF3
PF5,SiH3F,SiHF3,,SiH2F2,SiF4,Si2F6
有機化合物
TEOS,TMB,TMP,TEOA,N(CH3)3 トリメチルアミン,Al(CH3)3 トリメチルアルミニウム
Ga(CH3)3 トリメチルガリウム,Ga(C2H6)3 トリエチルガリウム
In(CH3)3 トリメチルインジウム,In(C2H5)4 トリエチルインジウム
Sn(CH3)4 テトラメチルスズ,Sn(C2H5)4 テトラエチルスズ
Zn(CH3)2 ジメチル亜鉛,Zn(C2H5)2 ジエチル亜鉛
主な反応式は？
SiH4
2SiH4 + 6KMnO4 + 10KOH → 6K2MnO4 + 2K2SiO3 + 4H2O + 5H2
SiH2Cl2
2SiH2Cl2 + 6KMnO4 + 10KOH → 4K2MnO6 + 2K2SiO3 + 4KCl + 5H2O + 2H2
AsH3
2AsH3 + 6KMnO4 + 12KOH → 6K2MnO4 + 2k3AsO4 + 4H2O + 5H2
PH3
2PH3 + 6KMnO4 + 12KOH → 6K2MnO4 + 2K3PO4 + 4H2O + 5H2
B2H6
B2H6 + 6KMnO4 + 12KOH → 6K2MnO4 + 2K3BO3 + 6H2O + 3H2
NH3
2NH3 + 6KMnO4 + 8KOH → 6k2MnO4 + 2KNO3 + 2H2O + 5H2
BCl3
2BCl3 + 2KMnO4 + 6KOH → 2KCl + 2MnCl2 + 2K3BO3 + 3H2O + 2・1/2O2
Cl2
4Cl2 + 2KMnO4 + 2KOH → 2MnCl2 + 4KCl + H2O + 4・1/2O2
HF
8HF + 6kMnO4 + 2KOH → 8KF + 2MnO2 + 2Mn2O3 + 5H2O + 5・1/2O2
WF6
2WF6 + 2KMnO4 + 10KOH → 12KF + WO3 + WO2 + Mn2o3 + 5H2O + 2・1/2O2
O3
2O3 → 3O2 （Mn触媒）
14KOH + 2KMnO4 + 5SoF2 → 6KF + 2MnF2 + 7H2O + 5・1/2O2 + 5K2SO3
14KOH + 2KMnO4 + 5COF2 → 6KF + 2MnF2 + 7H2O + 5・1/2O2 + 5K2CO3
14KOH + 2KMnO4 + 5COCl2 → 6KCl + 2MnCl3 + 7H2O + 5・1/2O2 + 5K2CO3
TEOS
Si(OC2H5)4 + KOH + KMnO4 → K2MnO4 + K2si(OC2H5)3 + KOC2H5 + H2O + H2
以上対象ガスと反応式により、吸着剤の色の変化を確認しガスセンサーの警報システム
との併用に更なる安全性が確保されます。乾式吸着剤は湿式のようなメンテナンスやユ
ーティリティはほとんど不要で、処理剤の性能によりコンパクト化および低コスト化が
実現可能です。また、吸着剤のみのセットによっても排ガス処理が可能で、お客さまの
ご要望により特注での装置組み込み対応も可能です。
特殊材料ガスの除害装置。除害塔などのご相談ご用命は
川口液化ケミカル株式会社までご連絡下さい。
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
※ｱﾄﾞﾚｽ前のCutHereはｽﾊﾟﾑ対策ですので削除願います。
ありがとうございます
今日の埼玉県さいたま市のお天気は？
2011年11月20日 日曜日
※「仕分け」第4弾がスタートし初日は原子力分野などが議論され、高速増殖炉「もんじゅに」
ついて、抜本的に見直すべきとの提言が出されました。
天気 晴れ後雨
気温 16℃（PM5:30）
です。
そのむかし、インドに周利槃特（シュリハンドク）という僧がいた。
シャカの十大弟子の一人だった。
十大弟子というからには、数あるシャカの弟子の中でもさぞかし優秀な人物
なのだったのだろうと思いきや、実際は、全くそうではなかった。
優秀というよりも、むしろ愚鈍で、彼がどれほど愚鈍だったかというと、
自分の名前すら覚えることができなかったというのだから、本当に苦労したのだと思う。
あるとき、あまりの自分のふがいなさに、絶望し、慟哭（どうこく）した。
話をききつけた、お釈迦様は、彼のもとにかけより、こう言ったのだ。
“道を歩む上では、賢きも、愚かも、関係ない。
いや…むしろ、おまえのように、自分の愚かさを知っていることは、もっとも悟り
に近いのだ。
世の中には自分は賢いと思っている愚か者が、本当に多いのだから。”
そして、彼は一本のホウキとともに、こんな言葉を授かった。
“塵（ちり）を払わん。
垢（あか）を除かん。”
と。
それから彼は雨の日も風の日もホウキを握りしめ、
“塵（ちり）を払わん。
垢（あか）を除かん。”
と掃除し続けた。
「掃除なんかしてて、悟れるかよ。」
と、他の門弟からバカにされることは、しょっちゅうだった。
結果の伴わない道だから、ときにはその言葉が深く心に突き刺さるときもあった。
しかし、彼は賭けたのだ。
最も敬愛する、その師の言葉に、全人生を賭けたのだ。
気がつけば、二十年もの月日が流れていた。
精舎は美しく磨かれ、余計なものはなくなった。
すべてのものはきらめくように輝き、まるで彼に愛をささやきかけてくるかの
ようであった。
彼は思った。
“あの頃は、何かを得たい、得たいと思って必死になっていたけれど、
結局、二十年経った今も、何も得ることはできなかったな。
でも、もはやそんなことはどうでもよかったのだと、今では思う。
なぜなら、私は、今…
全てのものの中に光を見出し、仏を見出すことができるのだから。
この他に一体、何が必要なのだと言うのだろうか。
…ああ、そうか。
お釈迦様はあのとき、”塵（ちり）を払わん。垢（あか）を除かん。”
とおっしゃったけれど、垢と塵とは、そんな私の心の汚れのことを言っていたのか。
…ありがとうございます。”
澄み切った瞳から、ひとしずくの涙がこぼれ落ちた、そのとき…
彼はついに、阿羅漢の境地に達した。
（大学受験塾ﾐｽﾀーｽﾃｯﾌﾟｱｯﾌﾟ川崎雅史氏ﾌﾞﾛｸﾞより）
by との