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エキシマレーザー Excited Dimer

レーザーアニール装置に使用されているエキシマレーザーについて
ご紹介致します。

エキシマ Excimer の語源は、希ガス原子とハロゲン原子の二原子が
励起状態にあるという意味になります。希ガスは反応性に乏しく他
の原子と反応しませんが励起されてイオン状態になるとハロゲン原
子と励起状態となります。このエキシマの寿命は短く紫外線を放出し
基底状態に戻り、元の希ガス原子とハロゲン原子になります。
 エネルギー収支からみると放電の電気エネルギーを光りエネルギー
に変換していると言え、この紫外光を利用するのがエキシマレーザー
なのです。放電を持続させるためエキシマレーザー装置では予備放電
を行って放電を開始/持続させる方法がとられており、放電に限らず
光軸の確保や調整、ガス流の設置などが複雑に絡み合った装置なので
す。

 レーザーアニールに使用されるレーザーの出力密度はリソグラフィ
ーとは異なります。1970年に発振に成功すると1076年にはXeF351nm
のエキシマレーザー発振が実現します。ガスレーザー故に発信する波長
の選択が可能で XeCl 308nm , KrF 248nm , ArF 193nm などで、露光光
源に生かされています。
 エキシマレーザーからシリコンウエハー二勝さされるまで、レーザー
光はミラーでビームホモジナイザーと呼ばれるビーム成形システムに送
られます。レンズやスリットの複雑な組み合わせでレーザービームを一
定の形に成形してビーム内のエネルギーを均一にするものです。ビーム
の形は線状や面状に形成され、チャンバー内のシリコンウエハーに照射
されるのです。このようにエキシマレーザーからは高出力のレーザー 
Laser (Light Amplification by Stimulated of Radiation) が得られることこそ
が最大の特徴なのです。

エキシマレーザーに使用されるガス供給設備、ハロゲンガス配管工事
現場での特殊ガス配管工事まで川口液化ケミカル株式会社へご相談くだ
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ありがとうございます

今日の埼玉県さいたま市のお天気は?
 2011年9月19日 月曜日 敬老の日
 ※ドイツ誌シュピーゲルはフォルクスワーゲンが現在19.9%保有するスズキ株
  を買い増して、完全子会社化する可能性があると報じています。
  また一波乱ありそうですね。

 天気 はれ
 気温 23℃(PM6:00)

です。

「充電するように勉強するテーマ」

「自分は嫌われているじゃないだろうか?」
「自分はダメなんじゃないだろうか?」
「自分は…」

とそうやって自意識と
戦うのはよそう。

自分の自意識と
戦うとロクなことはない。

どんどんエネルギーがなくなっていってしまうよ。

目の前のことがリアルであり、
そこにエネルギーを注ぎこむ。

すると、エネルギーが充電される。
日々の中でいかにエネルギーを充電できるか?

それが、やる気、根気、元気につながり
高い集中力につながる。

日々の中でムダなエネルギーを使わずに勉強に
没入没頭できるか?

そういう環境や状況をつくろう。

(大学受験塾Mr.ステップアップ村田明彦氏ブログより)

 by との

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