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POINT OF USE PURIFIRE(ラインピュリファイヤー)

 半導体製造装置などに使われるプロセスガスに含まれる不純物やパーティクルを
除去するための、ユースポイント対応型小型精製器のご紹介です。

ファインピュリファイヤー.jpg
ラインピュリファイヤー 最高使用流量 5NL/min

適用ガス      :N2 , Ar , He
使用圧力      : 0.99MPa以下
使用温度      :5 ~ 35℃
相対湿度条件    :30 ~ 90%

最高使用流量    :1NL/min or 5NL/min or 20NL/min or 50NL/min
処理能力      :270Nm3 or 1,620Nm3 or 5,400Nm3 or 16,200Nm3

許容入口不純物濃度 :O2 100ppb ( 0.1ppm以下)、H2O 100ppb ( 0.1ppm以下)
出口不純物濃度   :O2 1ppb 以下、H2O 1ppb 以下

フィルターろ精度  :0.01μm 

材質        :SUS316L

精製原理      :化学吸着+物理吸着 or 触媒反応+物理吸着 など

※製品を大気解放してから30秒以内に取付を行ってください。
※使用前には必ずパージを行い 0.5NL/min で10分以上行ってください。

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ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 2011年8月30日 火曜日
 ※野田佳彦新首相が決定し、民主党役員人事で幹事長に輿石東参院議員会長、政調会長には
  前原誠司前外相、国対委員長に平野博文元官房長官の起用を決めた。幹事長代理に樽床伸二
  元国対委員長が就く予定。
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝25℃、昼30℃
 本日の東京電力最大消費率 80%(PM2:00)

です。

「結果とプロセスどちらが大事か?」

と質問されることがあります。

「結果が全て」という面もありますし、

「結果が良ければそれで良い」とはいかないとも思います。

だからといって、「プロセスが良ければ何でも良いのか」というものでもありません。

まわりくどくなってしまいましたが、

結論を言うと、

結果を求めても、結果が良くなるわけではありません。

もちろん結果を出すために最善を尽くしてください。

良い結果を出すためには、

良いプロセスを求めなければなりません。

良いプロセス=良い結果 とはいきませんが、

プロセスが良いかどうかのチェックは日々行うことができます。

結果は全てが終わってからしか分かりませんから、

結果を考えるよりもプロセス時間を考えるようにしてください。

そして、結果とプロセスを分けるのではなく、

結果とプロセスはいつもセットであるということを忘れないでください。

(大学受験塾Mr.ステップアップ専任講師柏村真至氏ブログより)

 by との

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