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ガス加熱器(熱交換器)

 装置から未反応のプロセスガスなどが大量に流れてくると、真空ポンプ排気口
付近で冷やされて配管内面にデポ物が堆積していくことが多々あります。

そのようなときには・・・

加熱した窒素ガスを真空ポンプ排気口から Exhaust される配管ライン途中に流す
ことで、冷めてトラップされていたデポ物が Exhaust まで流し細径の真空配管を
閉塞させるようなことが無くなります。

熱交換器3.jpg
配管内閉塞防止の実例
 液晶用エッチング装置排気ライン NW40
 窒素ガス 90℃を10SLM 流した場合

ボンベや液化窒素の気化した冷たい窒素ガスなどをヒーターで加熱し100℃から
300℃の加熱した窒素ガスに熱交換できる熱交換器があります。

流量 100L/min 最大加熱温度 Max 300℃ 電源容量 120V400W / 240V500W
流量 300L/min 最大加熱温度 Max 250℃ 電源容量 240V1200W

装置外形寸法 W160 x D227 x H135
重量 約5.5kg
最大使用圧力 300 kPa

常温の窒素を300℃の高温窒素ガスにできます。

熱交換器1.jpg
ガス熱交換器使用例

・気化器用キャリアガス加熱
  CVD装置や液体気化器の流体を効率よく気化させるため加熱したキャリアガス
  を導入すると気化効率が向上します。

・バブリング用キャリアガス加熱
  MOCVD装置や光ファイバープリフォーム製造用MCVD装置などで使用するバブリング
  でシステム構築が安価であり簡単なため多くのシステムで利用されております。

・配管閉塞防止、その他用途いろいろ
  排気ガス混合用、HOT窒素発生、半導体製造装置各種排気ラインの排気ライン
  閉塞防止、排気系のパージ、クライオポンプの再生

熱交換器(高温窒素発生器)のご用命は
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今日の埼玉県川口市のお天気は?
 2011年7月22日 金曜日
 ※スペースシャトル「アトランティス」は21日早朝、米フロリダ州ケープカナベラルのケネディ宇宙センター
  に無事着陸しました。30年に及んだスペースシャトルの歴史が幕を閉じました。

 天気 くもり
 ボンベ庫の温度 朝21℃
 本日の東京電力最大使用率 61% (AM11:00)

です。

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子どもはね、1日平均400回笑うらしい。

(ひすいこたろうブログより)

 by との

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