油の逆拡散（ｵｲﾙﾊﾞｯｸ）
真空ポンプのオイルバック（油の逆拡散）とはなんでしょう？
真空ポンプで潤滑油など油を使用しているロータリーポンプ
（油回転ポンプ）や油拡散ポンプなどは、真空排気している最
中に熱せられた油の蒸気が真空チャンバー側に（空気を吸い込
む方向と逆側）に進んでしまう現象のことを言います。
どんなに真空排気をしていたとしても逆戻りする油の分子を真
空ポンプ側に引き込むことは難しく、油蒸気は真空チャンバー
内に入り込んでしまう可能性があります。
真空チャンバーの内壁（内面）などに油の付着物があるよう
な場合にはオイルバックの可能性が高いです。特に油拡散ポン
プは、ポンプの機構上油蒸気が常に真空チャンバー側へ回り込
んでしまう動きがあるため、吸気フランジ面に水冷バッフルや
液体窒素トラップ、冷凍機式のトラップなどを付けて真空チャ
ンバーを汚さない対策が不可欠です。
水冷バッフルとは、凝縮性の油蒸気が飛んで来た場合に、直
線的に真空チャンバーに入らないよう抵抗になる部位に遮る板
を設けるものです。油拡散ポンプの吸気フランジ面に付けるこ
とでバッフル面で油蒸気を凝縮させ真空チャンバーへの逆流（
侵入）を防ぐのです。油拡散ポンプの性質上、ポンプの起動時
や停止時など定常運転以外のときに発生し易くので排気装置の
操作手順などもオペレートミスしないよう注意が必要です。
逆拡散の防止策としては、真空チャンバーと油拡散ポンプの間に
ゲートバルブやアングルバルブなどの遮断バルブを設けることで
油上がりを防ぐことができるのです。
真空ポンプのロータリーポンプ（油回転ﾎﾟﾝﾌﾟ）、油拡散ポンプ
（某メーカー名：ﾃﾞｨﾌｭｰｼﾞｮﾝﾎﾟﾝﾌﾟ）など、新規購入からオーバ
ーホール、分解修理までご相談ください。
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
2011年7月13日 水曜日
※ｻｯｶｰの女子W杯をめぐり、ﾄﾞｲﾂ各地で飼育されているﾀｺが
13日午前に行った勝敗の”予言”で、日本が準決勝でｽｳｪｰﾃﾞﾝに
勝つとしたのは、参加７匹のうち４匹で多数派となった。
準々決勝で日本が強豪ﾄﾞｲﾂに勝利すると事前に占った「ﾊﾟｳﾙⅡ世」
は、今回はｽｳｪｰﾃﾞﾝに軍配を挙げたそうです。
天気 はれ
ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度 昼37℃、夜34℃
本日の東京電力最大使用率 84%(PM2:00)
です。
＜成長のヒント＞
必要に迫られている中に
嫌いなもの、苦手なもの
避けてきたものがあるかもしれない
しかしそれは
今までずっと先送りにしてきたのが
今に現れているにすぎない
これ以上
先延ばしにするのは得策ではない
向き合う最高のタイミングは
常に今
めんどくさい、やりたくない、楽しくない…
という感情を乗り越えてみよう
その先には
思いもしない光景（可能性）が広がっている
by との