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スパッタ率

 大学実験でポピュラーなスパッタ装置は、イオンで薄膜材料の原子を弾き飛ばす
ものです。

イオンが固体表面に衝突すると
・電子反射 e-
・中性電子、分子の放出(これがスパッタ)
・+,- イオンの放出(材料分析に利用)
・光の放出
・気体の放出
・気体の分解、放出
・スパッタされた粒子の逆戻り
・拡散
・結晶変化
・加熱
・+イオン
・反射
などの現象が起きて、このうちの中性原子、分子の放出を利用して薄膜を
作ります。

1個のイオンがターゲットなどの突入すると何個の原子が弾き飛ばされるかを
表すスパッタ率は、大きい場合は小さい電流、小さい電力で少ないイオン数でた
くさんの銅原子をスパッタし、早く薄膜を作れます。金銀銅などはスパッタされ
やすく、チタン、ニオブ、タンタル、タングステンの高融点金属はスパッタされ難く、イオンと
しては不活性ガスのうちアルゴンガスが多く用いられます。ヘリウムやクリプトンなど他
の不活性ガスのイオンもだいたい同じ傾向を示します。酸化物のスパッタでターゲット
上にできた酸素マイナスイオンができると薄膜をスパッタしてしまいいろいろな問題を
引き起こすので注意が必要です。

スパッタ装置用の導入ガスである高純度アルゴン、高純度酸素ほか特殊ガスまで
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FAX 048-281-3987

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 2011年6月2日 木曜日
 天気 あめ
 ボンベ庫の温度 朝16℃、昼18℃

です。

 内閣不信任決議案は、2日午後の衆院本会議で採決が行われ
与党の反対多数で否決されましたね。

先立って行われた民主党の代議士会で菅直人首相が東日本大震災
からの復興にメドがついた段階で辞任する意向を表明したことで
想定されていた民主党内からの大量造反はかろうじて回避された
ようです。

 投票総数は445票で、反対293票、賛成152票。

圧倒的大差で否決されました。

ちなみに・・・

小沢一郎元代表を含む20人近くが採決を棄権したそうです。

選挙と言われても実質的には不可能な避難民10万人のうち
小沢氏の地元岩手でも、懐疑的な声が聞こえています。

不平・不満・愚痴・泣き言、悪口・文句は置いておいて
妥協の無い、ただ今、出来る、最大限のことをしましょう!

 by との

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