ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ Turbo-molecular-pump
真空ﾎﾟﾝﾌﾟの高真空領域で多く利用されているﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟのご紹介です。
このﾎﾟﾝﾌﾟは回転軸に取り付けられ高速回転する多段ﾀｰﾋﾞﾝ形の回転翼（rotor
brade）とその回転翼と交互にﾀｰﾋﾞﾝ形の固定翼（stator blade）を配置した構
造で、回転翼の回転（周速250～330m/sec）によりその表面に衝突した気体
分子に運動量を与え、気体輸送を行う運動輸送式真空ﾎﾟﾝﾌﾟです。その他の
溜めこみ式高真空ﾎﾟﾝﾌﾟと異なり、連続して同一状態で運転させることが可
能です。補助ﾎﾟﾝﾌﾟと組み合わせることにより１０-5 ～ １０-8 Paの超高真空
まで到達可能なﾎﾟﾝﾌﾟです。
特徴は・・・
１、一般的に吸気側に高い排気速度、排気側に高い圧縮比を持つ翼列構造で
翼の傾き角度が吸気口側で45度と大きく、排気口に向かって約10度と小
さくなっています。
２、段数を多くすることで圧縮比を上げることが出来ます。
３、回転軸受構造はﾎﾞｰﾙﾍﾞｱﾘﾝｸﾞと磁気浮上ﾍﾞｱﾘﾝｸﾞのﾀｲﾌﾟが一般的ですが
ｴｱﾍﾞｱﾘﾝｸﾞを使用したﾀｲﾌﾟもあります。
４、磁気浮上ﾀｲﾌﾟ＋ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟを使用することで簡単に完全ｵｲﾙﾌﾘｰ超高真空
真空排気ｾｯﾄを組むことが出来ます。
５、溜めこみ式ではありませんので再生の必要が無く、ﾎﾟﾝﾌﾟが稼働できない
時間がありません。
６、起動時間が早く、あっという間です。
ズバリ欠点は・・・
１、水素やﾍﾘｳﾑなど軽い分子の気体に対して圧縮比が小さい。
２、振動に弱い。
３、異物の混入によりﾛｰﾀｰﾌﾞﾚｰﾄﾞの破損の可能性があります。
４、ﾛｰﾀｰ破損時のｴﾈﾙｷﾞｰは膨大です。
５、補助ﾎﾟﾝﾌﾟが必須です。
1200L/sec のTMP（取付方向：水平）
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟなど高真空ﾎﾟﾝﾌﾟ、ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟなど低真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾘｰﾝな排気特性を持つｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟなど、真空排気ｾｯﾄのことなら
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
2011年5月31日 火曜日
天気 はれ
ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度 朝17℃、昼23℃、夜18℃
です。
北極流今日の開運ﾒｯｾｰｼﾞﾌﾞﾛｸﾞより
ものごとの真髄は「中庸(ちゅうよう)」にある。
しかし、中庸は言葉にできない。
右に偏りすぎたら、「左へいけ」と言われ。
左に偏りすぎたら、「右へいけ」と言われる。
だから、言葉（部分）だけを捉えていては、
いつまで経っても真髄は会得(えとく)できない。
部分ではなく、
局面、状況、タイミング、空気…
すべてセットで、
全体（関係性）を掌握（しょうあく）すること。
by との