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エキシマレーザーガス供給設備

 産業用、実験用に使用するエキシマレーザー装置にはレーザー発振用に
高圧ガスのフッ素ガスボンベが必要です。

フッ素ガスは、居室内にガス漏れすると人体に毒性のある有害ガスです。
TLV-TWA値 1ppm
(1日8時間、1週間40時間の労働時間内の時間荷重平均暴露許容濃度)

エキシマレーザーガス供給設備1.jpg
エキシマレーザーガス供給設備

 ボンベをシリンダーキャビネットの中に収納し、ガス漏洩を常時監視し
万が一フッ素ガスが漏れた場合には、ガスボンベのネックバルブを強制
的に遮断する緊急遮断装置が設備されています。また、エキシマレーザ
ー装置までのレーザーガス供給配管は漏れの極めて少ないVCR継手に
よるSUS316Lチューブ溶接配管で施工いたします。

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ありがとうございます

今日の埼玉川口のお天気は?
 1月14日 木曜日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝-2℃、昼2℃、夜3℃

です。
 今日の朝は格別に冷え込みましたね!
ボンベ庫は、なんと氷点下 -2℃ ですから、水たまりは氷が張り
畑の植物は霜が立って葉っぱがシオシオに鄙びてしまっていました。
地球全体の寒波なのでしょうかね。

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