川口液化ケミカル株式会社へのお問い合わせはこちらまで。9:00〜17:00(土日祝日を除く)

WEBでお問い合わせ 048-282-3665

大流量タイプのマスフロー

 ガスの流量を正確に測定する質量流量計のマスフローには

分子量の小さな、軽いガスを測定する場合気を付けたい注意

点があります。

水素やヘリウムガスなど、流量制御自体に問題は無いのですが

流量が大きくなっていくと流量計のキャパシティーとコントロール

バルブのキャパシティーに開きが出てきてしまいます。

2009.10.28MFC.jpg
大流量型MFMと多少小さな口径のコントロールバルブ

要は、マスフローの流量センサーとコントロールしている制御バ

ルブが一体型のマスフローコントローラーの場合には、流量計

のサイズで合わせてしまうと、バルブのCv値が微妙に合わない

制御しない事態になるのです。

本来は、バルブのサイズに合わせて流量計が最大流量域まで

流れるよう、おのおのサイジングして選択することがベストなの

です。

外観こそ、マスフロー部とコントロールバルブ部が別筐体になり

スマートではありませんが、お互いのキャパシティー内に収める

ことができるので、見かけは別でも、一体型よりも調子よく動作

してくれるのです。

流量制御機器のことなら川口液化ケミカル株式会社まで
どうぞ宜しくお願い致します。
TEL 048-282-3665

ありがとうございます

今日の川口のお天気は?
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝14℃、昼18℃、夜17℃

です。
 寒かったり暑かったり。
学校はインフルエンザで連日休校の地域もあるようです。
注意しましょう!

川口液化ケミカル株式会社へご相談・ご質問ございましたら、ご連絡をお願い致します。9:00〜17:00(土日祝日を除く)

WEBでお問い合わせ  048-282-3665