エキシマレーザー用ガス供給設備
ハロゲンガスソースをレーザー発信源に使用するエキシマレーザー
では、He+F2(5%) 、He+HCl+H2、He、Ne、kr、Xe、Arなどのガスを使
用します。
不活性ガスのガス設備は通常のガス配管で対応できます。ところが
F2ガスの場合には、支燃性であり毒性（許容濃度：1ppm）であり、腐食
性であるガス物性を考慮に入れたガス設備にすることが求められます。
高圧ガス保安法に則した毒性ガスに係るシリンダーキャビネット設備
であり、ガスに適した調整器、バルブ、配管材料、継手、ガス漏洩時の
為のガス検知警報器および緊急遮断機構、排ガスダクト工事、未処理
のF2ガス（変化したHFガス）の無害化除害装置（スクラバー）など多岐
にわたります。
He+F2ｶﾞｽ用ｼﾘﾝﾀﾞｰｷｬﾋﾞﾈｯﾄ及びSUS316L Ba 1/4″配管、排ｶﾞｽﾀﾞｸﾄ設備
エキシマレーザー用ガス配管工事のことなら
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉県のお天気は？
７月３１日 金曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝２２℃、昼２５℃、夜２１℃
です。
若田幸一さんが約４ヶ月間に及ぶ宇宙での活動から
地球に帰還します。
無重力の生活で、骨や筋肉は想像以上に機能が衰退し
そのまま地球に降り立つと危険な状態にあるため、担架のような
ベッドに寝た状態で地球上の重力に慣れさせてからようやく
テレビの前に立てるようになるのだそうです。
（帰還後直ぐに手を振りながら拍手喝采を浴びるのは数日間の
宇宙活動ミッション時に限られるそうです）