理化学機器の真空排気ポンプ
真空を利用している装置には、必要な真空度によってそれぞれ
さまざまな真空排気ポンプが利用されています。主だった装置と
その真空度、真空排気ポンプの組み合わせを見てみましょう。
・透過型電子顕微鏡
高真空領域 ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ(RP)+油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ(DP) or ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ(TMP）
※電子源により低振動で１０-6Paが必要
・走査型電子顕微鏡
高真空領域 ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ(RP)+油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ(DP) or ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ(TMP）
※電子源により低振動で１０-6Paが必要
※試料室のｵｲﾙﾊﾞｯｸは禁物
・Field Emisson型走査型電子顕微鏡
電子源：超高真空 ｽﾊﾟﾀｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ(SIP)
※電子源により低振動で１０-8Paが必要
その他：高真空 ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ(RP)+油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ(DP) or ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ(TMP）
・ｵｰｼﾞｪ電子分光器、光電子分光器
超高真空領域 ｿｰﾌﾟｼｮﾝﾎﾟﾝﾌﾟ(SP)+ｽﾊﾟｯﾀｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ(SIP)
ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ(RP)+ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ(TMP）
ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ(RP)+油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ(DP) +特殊ﾄﾗｯﾌﾟ
※ﾍﾞｰｷﾝｸﾞを行う１０-9Pa超高真空ｼｽﾃﾑ
・二次ｲｵﾝ質量分析器
イオン源：中真空 ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ(RP)+ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ(TMP）
その他：超高真空
・質量分析器
高真空領域 ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ(RP)+油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ(DP)
ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ(RP)+ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ(TMP）
※ｵｲﾙﾊﾞｯｸ厳禁で１０-7Paが必要
特殊な分析装置になると独自の試料室などがあり、それぞれ
真空雰囲気はガス導入の際の水分などを嫌う場合も多いようです。
真空ポンプ、真空計、真空チャンバー製作、改修、改造など
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
7月7日 火曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝24℃、昼32℃
です。
埼玉は夜になり風が強くなっています。
星は見えるかな？天の川は見えますかね？
きっと一年越しのデートの約束を、果たせたのでしょう！