ゲッタポンプ Getter Pump
超高真空領域用のゲッタポンプのご紹介です。
ジルコニウムやチタニウムは封止された真空中で１２００〜１３００℃
に高温加熱することで金属表面の酸化層や炭化層を内部拡散して、
綺麗な金属表面で不純物のガスを吸着して真空の劣化を防ぐことがで
きます。サエス社などは、ジルコニウム８４％＋アルミニウム１６％の
合金(ST101）で８５０℃、ジルコニウム７０％＋バナジウム２４．６％＋鉄
５．４％合金（ST707）で４５０℃の実用的な温度で活性化が可能な非蒸
発ゲッタ材を使用してガス吸着を行う真空ポンプです。
ゲッタは不活性ガス以外のO２、N2、CO、CO2、H2Oなどを捕捉して
非可逆的に化学吸着させます。水素に対しては、合金内に固溶体を
形成して可逆的に吸着します。この水素の物理吸着はゲッタ材内部の
水素濃度が周囲の水素分圧と平行状態になるまで続き、その平衡圧は
ゲッタのタイプや温度により決まります。室温での運転だとその平衡圧は
他のポンプの排気到達が可能な範囲をかなり上回るので、超高真空領域
などを必要とする分析装置や加速器などで水素を除去した後、更に真空度
を上げるために利用されます。
真空チャンバーの製作、加工、真空ｘガス導入溶接継手など
川口液化ケミカル株式会社まで、ご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
７月２６日 日曜日
天気 はれ
気温 ３２℃（PM7:００）
です。
昨日以上に良く晴れた一日でした。
夜になっても空が澄み渡り綺麗な夕焼けが見られます。