化合物半導体
電圧をかけると電子のエネルギーが変わって電子が移動するのが半導体です。
正の電圧をかけた電極には、電子が引き付けられエネルギーが小さくなることによ
り電子のエネルギー変化するわけです。
その半導体になる元素は単体ですとケイ素（Ｓｉ）とゲルマニウム（Ｇｅ）です。今ま
ではケイ素の半導体が主な材料として利用されてきましたが、近年、化合物半導体
と呼ばれ異なる物質を組み合わせた化合物が半導体として多く利用されています。
例えば、赤色に光る発光ダイオードは、ヒ素（Ａｓ）とガリウム（Ｇａ）の化合物ヒ化ガリ
ウム（通称：ガリウムヒ素）にアルミニウムなどなどを加えた化合物が使われていま
す。一般的には周期表１３族と１５族、１２族と１６族の元素は半導体になります。
窒化ガリウムやヒ化ガリウムは１３族のガリウムと１５族の窒素やヒ素が化合した
化合物なのです。
こうしたことから旧来のＳｉやＧｅなどを含むガス体から、化合物の材料となる液体に
材料が変化してきています。装置に使用する材料供給系も単純なガス制御から、液
体を温度制御した上でガス化させたり液体のまま流量制御をして成膜装置に導入す
ることが必要になってきているのです。
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