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装置内ガス供給系配管

 ガス供給系統の多いMOCVDなどの装置内配管には圧力作動弁や
流量制御機器(マスフロコントローラー)など利用されております。

日立MFC.jpg
日立金属製マスフロコントローラおよびダイヤフラムバルブ

 ガスフローや装置内へのガス機器のマウントなどのご相談や、VCR溶接
ガス配管の施工・改造・修理など、Heリークテストを行い施工いたします。

日立MFC1.jpg
特殊ガス用オールメタル仕様のMFC、ダイヤフラムバルブ

 特殊金属メーカーである日立金属製のダイヤフラム材は、特殊ガス用バルブ
の重要部品として早くから各種バルブメーカーへ供給され、その技術はガス流量
制御部にダイヤフラム構造を持ち、液化しやすいガスや腐食系ガス・高温に昇温
して使用する有機系液化ガスや特殊ガスなどに優位性を持つ優れた商品です。

日立金属製ガス供給機器のことなら
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風邪などひかないよう体調管理に気をつけましょう。
十分な睡眠と食事は基本です。

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