ジクロロシラン SiH2Cl2
半導体工業での高速度エピタキシャル成長や
窒化シリコン膜の生成に利用されいているSiH2Cl2
ジクロロシラン（二塩化シラン）のご紹介です。
SiH2Cl2 分子量 101.010 可燃性・毒性ガス
物理的性質は？
気体では無色透明で刺激臭がします。密度が
25℃、0Pa、空気を１とした相対密度で 3.52 です。
液体の場合には、白色で密度は、15℃、0.03MPa
において 1.247 kg/Lで、沸点 8.4℃、蒸発潜熱が
249 kJ/kg（沸点）、臨界点 176.3℃において4.28
MPaです。
発火点は気体で、50〜100％、爆発範囲は4.1
〜99％、許容濃度の規定はありませんがｸﾛﾙｼﾗﾝ
と類似した毒性と考えられ 5ppm 程度のようです。
ｸﾛﾙｼﾗﾝは、水と反応して塩酸とポリシロキサンと
なり、刺激、腐食作用を持っています。気道に吸入
すると皮膚や粘膜、気道に刺激を与えます。特に
目に対し飛翔暴露により 失明の危険があります。
症状として、皮膚、粘膜、呼吸器系の刺激、腐食
症状が主で、皮膚の重い化学性火傷や壊死、目
の粘膜炎などが起こります。気道に対する炎症は
重い肺水腫、肺炎などで呼吸困難、流涙、鼻汁など
です。非常に広い爆発範囲で、５０〜１００℃で自然
発火して塩化水素や塩素、水素、シリコンなどに変
化します。
化学的性質は？
一般にシラン、ジシランに比べて熱安定性が高く
酸化剤との反応は穏和です。その反面、水とは激し
く加水分解し塩化水素を発生します。アルカリ、アル
コール、アセトンなどと反応し、危険な重合体生成は
水、アルコールと接触しない限り起きません。水分を
含まないものでも腐食性が強く、特にアルミニウム
銅などは使用できない材料ですので注意が必要です。
水分を含んでいると塩化水素や塩酸となりますので
更に材料の選択が難しくなります。
適用法規は？
・高圧ガス保安法
・労働安全衛生法（令別表第一危険物可燃性のガス）
・船舶安全法（危規則第三条危険物等級２．３高圧ガス）
・航空法（積載禁止）
・港則法（規則第十二条危険物高圧ガス）
英語名 Dichlorosilane 別名 二塩化シラン
CAS No,4109-96-0
国連番号 2189
既存化学物質番号 1-217
特殊高圧ガスに係るガス供給設備（ｼﾘﾝﾀﾞｰｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
ｶﾞｽﾏﾆﾎｰﾙﾄﾞ・ｶﾞｽﾎﾞｯｸｽ・流量制御機器）・現場での
ｶﾞｽ配管工事など川口液化ケミカル株式会社まで
どうぞご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
５月５日 火曜日
天気 くもり
です。
こどもの日ですね。
大きな鯉のぼりが風にのっておよいでいると
気持ちがよさそうに感じますね。
新緑の緑も徐々に黄緑色から深緑へと変化
してきているようです。