四フッ化ケイ素 SiF4 Part2
特殊ガスの四フッ化ケイ素の特性などをご紹介する二回目です。
SiF4 四フッ化ケイ素
物理・化学的性質
外観 ： 無色の気体
臭気 ： 窒息性臭気もしくは刺激臭
比重 ： ３．６３ （0.1MPa 20℃）
沸点 ： 昇華店 −９５．１℃
融点 ： 三重点−８６．８℃ （0.224MPa）
蒸気圧 ： 臨界温度−１４．１℃ 、臨界圧力３．７１４MPa
溶解度 ： 水と速やかに反応し分解する
危険情報（安定性、反応性）
引火点 ： 無し
発火点 ： 無し
燃焼範囲 ： 不燃性
安定性・反応性・安定
： 乾燥状態のSiF4は、通常用いられる金属は侵さないが、湿気があると
強い腐食性を示します。水と激しく、アルコールとは容易に反応します。
有害性情報
人体影響
有毒 ５０ppm を３０〜６０分間吸入すると死に至ります。皮膚に触れると火傷を負います。
毒性データー
LCL 0 16000ppm (4H) ラット
許容濃度
OSHA PEL TWA 2.5mg(F)/m3
ACGIH 勧告値 TWA 2.5mg(F)/m3
設備対策：容器置き場、シリンダーキャビネットにはガス漏えい検知器をも設ける。
取扱い及び貯蔵上の注意
取扱い
高圧ガス保安法に準拠して作業をします。
換気の良い場所で使用し、急激な温度変化を与えず、火気の近くでは絶対に使用しないこと。
容器の粗暴な扱いは厳禁です。また、移動の際には必ずバルブの保護キャップを装着します。
ガス漏えい検知器を設置し、漏えいを早急に検知できるような対策を講じること。
ガスを容器から取り出す場合には、必ず減圧弁（圧力調整器）を使用すること。
容器は圧力を若干残した状態で使用を止め、絶対に大気圧以下（負圧）にしないこと。
容器は、ガス漏れのないことを確認したあとバルブのキャップを取り付け返却すること。
万が一、容器を転倒したり、強くぶつけたりした後は、漏れ検査を行うこと。
加水分解してHFを生成するので、取扱いには保護具を必ず着用すること。
貯蔵
高圧ガス保安法に準拠して貯蔵します。
充填容器、残ガス容器のいずれも貯蔵所に保管し、周囲には火気、引火物、発火性物質を
置かないこと。
容器は４０℃以下に保ち、直接日光の当たらないよう換気が良好な場所に保管します。
容器はロープや鎖などで転倒を防止し、保管します。
輸送上の注意
高圧ガス保安法に準拠して輸送すること。
容器には転倒、転落などによる損傷を防止する措置を講じます。
容器の輸送は専用の車両により行います。
使用済み容器（空ボンベ）を集荷するときは、容器全般について弁保護キャップおよびガス
取出口金を完全に装着します。
廃棄上の注意
アルカリスクラバーなどによる除害方法で廃棄します。（SiO2の沈澱生成に注意します。）
継続かつ反復して廃棄するときは、ガスの滞留を検知するための措置を講じます。
廃棄したあとは、容器弁を閉じて転倒や容器弁の損傷を防止します。
容器の返却は容器所有者が法規に従って行うものであり、使用者が勝手に行わないこと。
適用法令
高圧ガス保安法（第二条圧縮ガス）、一般高圧ガス保安規則第二条（毒性ガス）
労働安全衛生法、半導体安衛対策指針対象物質
大気汚染防止法 施工令第一条有害物質、施工令第十条特定物質
危規則 第三条危険物告示 第二高圧ガス
航空法 施工規則第百九十四条危険物告示別表第二高圧ガス
港則法 施工規則第十二条危険物 高圧ガス
輸送関連法規 IMDG 分類 2.3 標札 Gj
化審法 No、（１）-343
特殊ガス材料ガス災害防止自主基準
以上。
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ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
５月３１日 日曜日
天気 あめ
気温 １９℃
です。
午後になってからスコールのような集中豪雨が
降っては止み、また降り出すといった繰り返しで
総降雨量は相当な量になったことでしょうね。
by との