ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
高温で使用できる MFC / MFM はいかがでしょうか？
使用温度150℃、ﾍﾞｰｷﾝｸﾞ温度200℃
制御部別置、ｾﾝｻｰ加熱温度低減し高温用圧電素子を使用しています。
再液化が起こりにくい構造でガスが圧縮・膨張しにくいシンプルバルブ構造です。
製品仕様
・タイプ
通常圧力タイプ、微差圧仕様タイプ
・標準ﾌﾙｽｹｰﾙ流量（N2換算）
10 / 20 / 30 / 50 / 100 / 200 / 300 / 500 SCCM
1 / 2 / 3 / 5 / 10 / 20 / 30 SLM
※微差圧仕様はｶﾞｽ種、圧力条件により別途お打ち合わせとさせていただきます。
・バルブ動作
ノーマリオープン（ノーマリクローズについてはお問い合わせください）
・作動圧力
入口側圧力 0.05～0.3MPa / 0.1～0.3MPa / 差圧 1.3 x 10 -3MPa以下も可能
出口側圧力 真空～大気圧 / 差圧 1.3 x 10 -3MPa以下も可能
・流量制御範囲
フルスケールの2～100%
・精度
フルスケールの±0.5%
・応答性
フルスケールの±2%以内に1秒以内 設定値の±2%以内に1.5秒以内
・耐圧
1.0MPa
・温度条件
使用温度範囲 5～80℃ / 5～150℃
精度保証範囲 校正温度±10℃以内
ﾍﾞｰｷﾝｸﾞ 150℃以下 / 200℃以下
・外部ﾘｰｸ規格
1 x 10 -11Pa･m3/sec(He)以下
・要部材質
弁座：SUS316L、ﾀﾞｲﾔﾌﾗﾑ：YET101(Ni-Co合金)、ｾﾝｻｰ：SUS316L
ｼｰﾙ部：ﾒﾀﾙOﾘﾝｸﾞ(SUS316L-Niﾒｯｷ)、Niﾛｳ付け
・流量設定信号
0.1～5VDC（絶対定格±15VDC以内）
・流量出力信号
0～5VDC（Max：+15VDC、min：-15VDC）
・所要電源
+15VDC(±4%) 100mA(Max120mA)
-15VDC(±4%) 100mA(Max120mA)
・接ｶﾞｽ部表面仕上げ
特殊電解研磨
・外部接続コネクタ
D-Subminiature(9ﾋﾟﾝ)ｺﾈｸﾀ
・継手部
1/4″UJRﾀｲﾌﾟ、ｵｽ
ガス機器、ガス流量制御機器、ガス配管工事など
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
４月２９日 水曜日
天気 はれ
気温 １９℃
です。
「おもしろきこともなき世をおもしろく」
上の句ができたが、下の句は息が切れてつづかない。
しかし下の句など晋作の生涯にとって不要にちがいない。
かれの情念も生活もこの上の句のなかに尽くされており
たとえどのように巧みな下の句をつけても蛇足になるに
相違なかった。が、歌人の野村望東尼は晋作の寿命が
すできつきようとしているのを見、いまいそぎ下の句をを
つけてやらないとせっかくの辞世が尻切れとんぼになる
ことをおそれ
「すみなすものは心なりけり」
と、つけた。
おもしろくもない世の中をおもしろく凄み暮らしてゆくのは
心である、というのである。説教くさく道歌じみていて、上の
句の迫力が急にしぼんだような感じだが、歌としてまとまる
ことはまとまった。しかし、晋作はそれで満足したらしく
「・・・おもしろいのう」
と言って目をつぶり、ほどなく息をひきとった。
世に凄む日日 司馬遼太郎著より