蒸気（H2O) の蒸気圧曲線
水（H2O）を常温付近で、尚且つ、気体としてMFC /MFM にお使いになられる
場合の参考として、蒸気圧曲線をご参照下さい。
H2O 蒸気圧曲線
ご覧のように、雰囲気圧力が真空側にふれていれば、気体として取り扱うことが
できますね！
気液混合状態である線上付近では、組成が安定しない可能性がありますので
正確に測定できない原因となりますから、圧力に十分な余裕を持たせたいとこ
ろです。
少しでも水蒸気が含まれていると、熱容量などの条件が大きく変化してしまい
サーマルマスフローのコンバージョンファクター自体が変化してしまいます。
結露などは問題外ですが、流量が少ない場合でマスフローは指示通り流れて
いるのに、実際は想定通り流れていないといった症状が現れることになります。
根本的に、サーマル式のマスフローは質量流量計ですから、ドライなガスの状
態を作ってあげることがとても大切なのです。
一般的な汎用マスフローでは、MFC / MFM 本体の中で液化してしまえば故障
の原因になりますので、十分にご注意下さい。
低差圧タイプのMFC /MFM LowΔP シリーズなどでしたら、影響ないわけでは
ありませんが症状が軽減できます。
水蒸気に限らず蒸気圧の低い液化ガスなど、流体をご検討の場合には、是非
検討下さい。
今日のポイント
「正しい扱い方、できること、できないことを理解い
ただいた上で、安全にお使いください。」
これは大事です！
目の前のガス機器、大丈夫ですか？
マスフローコントローラーやマスフローメーター、APCなど
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご連絡ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
４月１日 水曜日
天気 雨のち曇り
ボンベ庫の温度 朝８℃、昼１１℃、夜９℃
です。
新入社員さんが通勤電車に乗り込んで、社会勉強の
入口を楽しんでいる様子がそこここで見られました。
私も出勤初日は緊張したよなぁ〜。
新社会人のみなさん、お仕事がんばってくださいね！