スパッタ装置
大学研究所や研究機関などで最もメジャーな真空装置
のひとつがスパッタリング装置（通称：スパッタ装置）です。
１０-1〜10-2 Pa のアルゴンガスの中で二つの電極間に
放電現象を発生させ、生成したアルゴンガスイオンを加速し
てターゲットに衝突させます。するとアルゴンイオンは、ター
ゲット金属の表面をたたいて金属原子（または分子）が飛び
出します。ターゲットの反対側（対向側）にある基盤に付着し
ます。このイオンの衝突により固体表面からの原子や分子
の放出をスパッタリング現象と呼びます。その現象を利用す
る薄膜作成装置のことをスパッタリング装置（スパッタ装置）
と呼ぶのです。
スパッタ反応室である真空チャンバーの中の圧力を１０-5
〜１０-6 Pa まで真空排気し、そのあと純アルゴンガスを約
１００sccm 程度の流量でガス導入しながら同時に真空排気
しスパッタ現象に必要な圧力をバランスさせて維持するので
す。
スパッタ装置用高純度アルゴンガスやアルゴンガス導入系の
高純度ガス配管工事など、川口液化ケミカル株式会社まで
どうぞご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
３月２４日 火曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝７℃、夜９℃
です。
ＷＢＣサムライジャパンがみごと優勝しました！！！
前回大会に続く２連覇です。
５度の韓国との戦いは非常な緊張感につつまれていて
ちょうど昼ごはんを食べながら見ていましたが
午後の始業時間がきてもそのままテレビ釘付けでしたね。
それにしてもよく優勝したものです！
これで野球人気が復活するかな？