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マスフローコントローラーと気化器の組合せ

 液体を気化させて質量流量計で精度よく流量コントロールするには
システムの構成を、目的とする仕様に照らし合わせて機種選定する
ことが大切です。

実際問題、液体流量を精密に計測しつつ流量制御するのはとても難
しく、微少流量であれば尚更のことです!

そのようなアプリケーションで液体の種類が変わったとしても、コリオリ
式マスフローコントローラーを使用すれば対応が可能です。

2009.02.04MFC1.jpg

上のシステムは、キャリアーガスを2種類使用して、液体ソースをコリオリ
式マスフローコントローラーへ導入しています。コリオリ式マスフローは
流体を選ばず製作な計測と制御が可能です。

2009.002.04MFC2.jpg

更に、このシステムは2種類のキャリアガス用MFCに対し、液体用の
コリオリ式MFCと、希釈用のMFCまで導入している例です。

流体や流量、圧力などで MFC/MFM のガス機器の構成も変わって
まります。

マスフロコントローラーのことなら川口液化ケミカル株式会社
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ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は?
 2月4日 水曜日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝5℃、昼8℃

です。
 国会で論戦が展開されています。
民主党の菅さんも一生懸命くいさがってます。
いずれにせよ、緊急事態にどんな結果を議員さんたちは
導き出すのでしょう!

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