マスフローコントローラーと気化器の組合せ
液体を気化させて質量流量計で精度よく流量コントロールするには
システムの構成を、目的とする仕様に照らし合わせて機種選定する
ことが大切です。
実際問題、液体流量を精密に計測しつつ流量制御するのはとても難
しく、微少流量であれば尚更のことです！
そのようなアプリケーションで液体の種類が変わったとしても、コリオリ
式マスフローコントローラーを使用すれば対応が可能です。
上のシステムは、キャリアーガスを2種類使用して、液体ソースをコリオリ
式マスフローコントローラーへ導入しています。コリオリ式マスフローは
流体を選ばず製作な計測と制御が可能です。
更に、このシステムは2種類のキャリアガス用MFCに対し、液体用の
コリオリ式MFCと、希釈用のMFCまで導入している例です。
流体や流量、圧力などで MFC/MFM のガス機器の構成も変わって
まります。
マスフロコントローラーのことなら川口液化ケミカル株式会社
まで、どうぞご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
２月４日 水曜日
天気 はれ
ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度 朝５℃、昼８℃
です。
国会で論戦が展開されています。
民主党の菅さんも一生懸命くいさがってます。
いずれにせよ、緊急事態にどんな結果を議員さんたちは
導き出すのでしょう！