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MFC / MFM の気化器

 流量測定および流量制御で精度の高いマスフローコントローラーですが、蒸気圧の
低い液体の場合、高額機種のコリオリタイプでないとなかなか難しいものです。

そこで巷で行われている液体の流量測定、流量制御の方法は、液体をヒーターで加
温して、装置へ導く供給方法が用いられております。

2009.01.21MFC.jpg
MFC+気化器(ヒーター部)

電気ヒーターで液体の流路を加熱し、気化させる気化器を利用する方法が一般的です。

2009.01.21.MFC2.jpg
Max 1000g/hr MFC/MFM 用ベーパーライザー※H2O換算

加温して気化させて、精密な流量測定、流量制御を行うには、精度の高い気化器を
選択することが大切です。

気化器とMFC または MFM の組合せやミキシングバルブ、流量制御部などセットに
なりますので、ご相談ください。

MFC/MFM のことなら 川口液化ケミカル株式会社まで
どうぞ、ご相談ください。
TEL 048-282-3665

ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は?
 1月21日 水曜日
 天気 曇り
 ボンベ庫の温度 朝5℃、昼7℃、夜6℃

です。
 さあ!オバマ大統領の登場です。
日本もいろいろな変革を求められる大事な時代に
突入しています。意識、考え方、常識などが
ひっくり返るかもしれません。
とにかく、今の混沌とした行き止まりのような状況に
一石を投じられる出来事であることに変わりはありませんね。

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