大流量ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

MFC/MFM (マスフローコントローラ) 　2008年11月11日

　○SCCM もしくは ○○SLM のマスフロコントローラーは
良く見受けられます。

ですが・・・　１００ＳＬＭ オーバーのマスフロコントローラーは
あまりないですよね！　

Brooks Instrument 製の Mass Flow　なら　100SLM から 2500SLM
まで対応できます。

例えば BROOKS S SERIES ならば・・・

フルスケールレンジ　100 〜 2500 L/min(S)
コントロールレンジ　　５０：１
バルブシート　　　　　エラストマ製
精度　　　　　　　　　 ±0.7% of R.D.& ±0.2% F.S
リピータビリティ　　　 0.25 % RD
セトリングタイム　　　< 1sec
リークレート　　　　　　1 x 10 -10Pa
設定入力信号　　　　 ｱﾅﾛｸﾞ：0〜20mA or 4〜20mA / 0〜5V DC
　　　　　　　　　　　　　端子：RS232C or RS485 or PROFIBUS-DP
出力信号　　　　　　　ｱﾅﾛｸﾞ：0〜20mA or 4〜20mA / 0〜5V DC
　　　　　　　　　　　　　端子：RS232C or RS485 or PROFIBUS-DP
所要電源電圧　　　　15〜24Vdc
耐圧力　　　　　　　　 ６．８９ＭＰa
作動差圧　　　　　　　81〜204 kPa / 205〜2000kPa
周囲温度範囲　　　　０〜７０℃

大流量タイプの質量流量計のことなら川口液化ケミカル株式会社
までご相談ください。
ＴＥＬ　048-282-3665

ありがとうございます

今日の埼玉川口のお天気は？
　11月11日　火曜日
　天気　くもり
　ボンベ庫の温度　朝9℃、昼11℃、夜10℃
です。
昨日、アフターファイブ（ふるっ！）に公営野球グランドで
練習してましたら、外野の芝生に夜露が付いていて
体を動かしていないと寒かったです・・・。
ほんとここ数日の陽気は冬ですね。