真空機器のベーキング
真空には真空度が異なることで使用できる規格フランジや
ポンプ、チャンバー構造なども違ってまいります。
例えば・・・
中真空の １０ -5Pa 領域ですと、許容リークは １０ -7Pa m3/sec
で真空機器のベーキングがせいぜい７０℃までで十分な世界なので
使用できる素材は、金属ですと「軟鋼、電気鋼、アルミニウム、高融点
金属（Ti,Ta,W）」などになります。非金属材料では「ﾈｵﾌﾟﾚﾝｺﾞﾑ、ﾃﾌﾛﾝ
ﾊﾟｲﾚｯｸｽｶﾞﾗｽ、ｺﾊﾟｰﾙｶﾞﾗｽ、ｱﾙﾐﾅｾﾗﾐｯｸｽ、真空ｸﾞﾘｰｽ」などが使用でき
る環境です。
これに対し、超高真空領域は １０ -9Pa になり、許容リークの数値も
１０ -11Pa m3/sec ベーキングが２００〜２５０℃の長時間ベークが必要
です。温度が高いということは、おのずと使用できる金属もステンレス
（SUS304,316）、アルミニウム、無酸素銅、高融点金属（Ti,Ta,W）コバール
合金などで、非金属もバイトン、ポリイミド、コバールガラス、ｱﾙﾐﾅｾﾗﾐｯｸｽ
とガス放出速度を重点に選定した素材となっています。
真空機器、真空チャンバー、真空漏れなどのリーク検査など
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の川口のお天気は？
９月１２日 金曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝２３℃、昼２９℃、夜３０℃
です。
九月に入ってからの夏のような陽気は、どこか夏の終わりを告げる
寂しさのような印象をごくごく僅かにですが感じさせます。
季節の変化が日本の風土の素晴らしさのひとつですしね！
今日の環境情報は？
小学３年生の子供に質問されました。
「エコ（ECO）ってなあに？＿それに何すればいいのかな？」
ギクリときますよね。
周りのすべてのものに優しいことかな？
無駄使いをなくすことかな？
などなどと答えましたが、正解は・・・。
ははは。