特殊材料ガスの除害
半導体製造装置などから排出される排ガスの処理は
そのガスの性質を考慮して、物理的処理、化学的処理
またはその両方を組み合わせた方法が採られておりま
す。主な除害処理方法は以下の通りです。
・固着吸着処理
比表面積の大きい吸着剤または粉粒体に、金属塩
や酸化剤、アルカリなどを含侵させた処理剤によって
対象ガスを吸着処理または無害化処理します
・接触酸化処理
比較的高温の触媒上で空気などの酸化剤を利用した
接触酸化により対象ガスを酸化して、無害化処理します
・燃焼処理
水素ガス、プロパンガス、都市ガスなど燃焼炎に対象
ガスを導入して、燃焼、酸化分解により対象ガスを無害
化処理します
・湿式吸収処理
各種のガス吸収装置（スクラバー）で水分または薬液
により対象ガスを洗浄処理します。
これらの除害装置は、除害対象となるプロセスやガスの種
類、各ガスの流量に応じて組み合わせたシステムとして利
用されます。
特殊ガス、特殊ガス配管工事、半導体製造装置の真空機器
メンテナンスなど、川口液化ケミカル株式会社までお気軽に
ご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の埼玉のお天気は？
５月２１日水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝１６℃、昼１９℃、夜２２℃
です。
今日の環境情報は？
南極の巨大棚氷が温暖化で予想以上の速度で崩壊へ
進行しているようです。英国南極観測局（ＢＡＳ）の調査
によれば、約４１キロに渡り亀裂が入り、その一部が消失
しているそうです。このウィルキンズ棚氷は南極半島にあ
って東京都の６倍の大きさで、１９７４年以降、この棚氷と
同じだけの面積の氷が崩壊したとされております。