スーパーアンモニア　S-NH3

NH3 (アンモニア) 　2008年04月14日

　半導体に必要な高純度ガスにはさまざまな種類のガスが
メーカーにより用意されております。

アンモニア（ＮＨ３）の製品規格は？

純度　99.999 vol.%
N2 < 5.0 vol.ppm
O2　　< 2.0 vol.ppm
CH4　< 1.0 vol.ppm
H2O < 2.0 vol.ppm
容器　47L (25kg) or 10L (5kg/2kg)
容器ﾊﾞﾙﾌﾞ　JIS.W22-14R

となっています。

　化合物半導体の用途に更なる高純度アンモニアガスが
用意されています。

純度　99.9998 vol.%
N2 < 1.0 vol.ppm
O2　　< 0.1 vol.ppm
CO 　< 0.1 vol.ppm
CO2 　< 0.1 vol.ppm
CH4　< 0.1 vol.ppm
H2O < 0.1 vol.ppm
SiH4 < 0.05 vol.ppm
GeH4 < 0.05 vol.ppm
H2S < 0.1 vol.ppm

容器　48L (19kg:1.5MPa/14kg:1.5MPa/8kg:1.5MPa)
9.4L (1.8kg:1.5MPa )
容器ﾊﾞﾙﾌﾞ　JIS.W22-14L

と優れたクオリティを保証しております。

高純度アンモニアガスのお問い合わせは
川口液化ケミカル株式会社までお気軽に
ご相談ください。

ＴＥＬ　048-282-3665

ありがとうございます。

今日の埼玉のお天気は？
　４月１４日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝１０℃、昼１１℃、夜１５℃
です。
プロパンガスの漏えいが大阪であったそうです。
ガス漏れのクサイ匂いがしたら、火の元に注意し、ガスの
元栓を閉じ、風上など安全な場所に速やかに非難しましょう。