特殊材料ガスとは？
工業用ガスは様々な用途で使用されています。
このうち半導体用ガスのほか光ファイバーや太陽電池
ファインセラミックスなど新材料の製造用や技術開発に
伴って登場した比較的新しいガスを「特殊材料ガス」と
しています。
KHK（高圧ガス保安協会）が昭和60年定めた39種類の
ガスを「特殊材料ガス」としました。その後、平成3年に
アルシン、ホスフィンなど14種のガスを特殊材料ガスに
適用されたため、現在は事実上廃止されております。
特殊材料ガス
シリコン系
モノシラン SiH4
ジクロルシラン SiH2Cl2
三塩化シラン SiHCl3
四塩化ケイ素 SiCl4
四フッ化ケイ素 SiF4
ジシラン Si2H6
ヒ素系
アルシン AsH3
フッ化ヒ素? AsF3
フッ化ヒ素? AsF5
塩化ヒ素? AsCl3
塩化ヒ素? AsCl5
リン系
ホスフィン PH3
フッ化リン? PF3
フッ化リン? PF5
塩化リン? PCl3
塩化リン? PCl5
オキシ塩化リン PCCl3
ホウ素系
ジボラン B2H6
三フッ化ホウ素 BF3
三塩化ホウ素 BCl3
三臭化ホウ素 BBr3
金属水素化物
セレン化水素 H4Se
モノゲルマン GeH4
テルル化水素 H2Te
スチビン SbH3
水素化スズ SnH4
ハロゲン化物
三フッ化窒素 NF3
四フッ化硫黄 SF4
フッ化タングステン? WF6
フッ化モリブデン? MoF6
四塩化ゲルマニウム GeCl4
塩化スズ? SnCl4
塩化アンチモン? SbCl5
塩化タングステン? WCl6
塩化モリブデン? MoCl5
金属アルキル化物
トリメチルガリウム Ga(CH3)3
トリエチルガリウム Ga(C2H5)3
トリメチルインジウム In(CH3)3
トリエチルインジウム In(C2H5)3
などなどです。
特殊材料ガスのことなら川口液化ケミカル株式会社
までお気軽にご相談ください。
TEL ０５０?８８８１?７３９３
ありがとうございます。
今日の埼玉のお天気は？
4月16日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝１３℃、夜２０℃
です。
夜の地中から、「ジ???」という鳴き声が聞こえています。
ミミズが鳴いている時期になったのですね。
早いですね。