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特殊材料ガスとは?

 工業用ガスは様々な用途で使用されています。
このうち半導体用ガスのほか光ファイバーや太陽電池
ファインセラミックスなど新材料の製造用や技術開発に
伴って登場した比較的新しいガスを「特殊材料ガス」と
しています。
 KHK(高圧ガス保安協会)が昭和60年定めた39種類の
ガスを「特殊材料ガス」としました。その後、平成3年に
アルシン、ホスフィンなど14種のガスを特殊材料ガスに
適用されたため、現在は事実上廃止されております。

特殊材料ガス
シリコン系
 モノシラン SiH4
 ジクロルシラン SiH2Cl2
 三塩化シラン SiHCl3
 四塩化ケイ素 SiCl4
 四フッ化ケイ素 SiF4
 ジシラン Si2H6

ヒ素系
 アルシン AsH3
 フッ化ヒ素? AsF3
 フッ化ヒ素? AsF5
 塩化ヒ素? AsCl3
 塩化ヒ素? AsCl5

リン系
 ホスフィン PH3
 フッ化リン? PF3
 フッ化リン? PF5
 塩化リン? PCl3
 塩化リン? PCl5
 オキシ塩化リン PCCl3

ホウ素系
 ジボラン B2H6
 三フッ化ホウ素 BF3
 三塩化ホウ素 BCl3
 三臭化ホウ素 BBr3

金属水素化物
 セレン化水素 H4Se
 モノゲルマン GeH4
 テルル化水素 H2Te
 スチビン SbH3
 水素化スズ SnH4

ハロゲン化物
 三フッ化窒素 NF3
 四フッ化硫黄 SF4
 フッ化タングステン? WF6
 フッ化モリブデン? MoF6
 四塩化ゲルマニウム GeCl4
 塩化スズ? SnCl4
 塩化アンチモン? SbCl5
 塩化タングステン? WCl6
 塩化モリブデン? MoCl5

金属アルキル化物
 トリメチルガリウム Ga(CH3)3
 トリエチルガリウム Ga(C2H5)3
 トリメチルインジウム In(CH3)3
 トリエチルインジウム In(C2H5)3

などなどです。

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ありがとうございます。

今日の埼玉のお天気は?
 4月16日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝13℃、夜20℃

です。
夜の地中から、「ジ???」という鳴き声が聞こえています。
ミミズが鳴いている時期になったのですね。
早いですね。

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