K-Cell
K-Cell のご紹介です。
有機蒸着セル
・ICF70 のコンパクト設計
・２層ヒーター構造でルツボの温度勾配設定可能
・ルツボを変更し２源蒸着セルへ変更可能
・シャッター標準装備
・± 0.1 ℃ による温度設定可能
・素材の温度村防止の熱電ボール付属
ルツボ容量 ： 8cc (1源) / 4cc (2源)
加熱制御温度 ： 100 〜 500 ℃
ルツボ材質 ： PBN/石英/高密度カーボン
取り付けﾌﾗﾝｼﾞ ： ICF70
電源ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ ： 主電源 AC100V (PID制御)
金属蒸着セル
・ルツボ容量１０ｃｃで手軽に使用可能
・均一なルツボ温度
・メンテナンスが容易
・安定性、操作性に優れています
応用蒸着材料
・Al , As , Ga , In , P , Si
仕様
常用加熱温度 ： 1200 ℃
最高加熱温度 ： 1400 ℃
ルツボ材質 ： PBN (Pure Boron Nitride)
ヒーター ： Ta ( Tantalum)
熱電対 ： W 5% / WRe 26%
熱シールド ： Ta 多層シールド法
取り付けﾌﾗﾝｼﾞ ： ICF70
オプション
・ガス導入機構２系統
・Kセル、ターゲット間コーン型シールド
・イオンフローコントロールシャッター
・外部コントロール(各種パーツ）
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ありがとうございます。
今日の埼玉のお天気は？
４月２８日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝１４℃、夜１９℃
です。
蚊柱が立ち始めましたね。
夏の予感です。
